用于半导体制造的压电电机与压电执行器

专为真空、非磁性环境和纳米级运动控制而设计。

为什么要将^PiezoLEGS®应用于制造中

适用于真空和烘烤环境。专用的^PiezoLEGS®型号经过特殊处理，可适应真空环境，具有极低的挥发特性，并支持最高125 °C 的烘烤，非常适合用于真空腔室和装载锁。
Non-magnetic by design. Piezoceramic elements and non-magnetic alloys keep magnetic flux below sensor noise (~<1 nT at 10 mm), safe around e-beam columns and high-field tools.
真正的直驱设计。无齿轮或螺杆，从而实现零背隙、运行平稳、结构紧凑，且因传动机构无需运动，产生的微粒更少。
亚纳米分辨率和快速稳定。驱动波形的微步进可实现纳米到亚纳米级的定位，并具有出色的动态控制能力。
断电保持。该摩擦行走机构具有固有的自锁特性，可在不消耗任何电力的情况下保持位置，这在真空环境中具有显著的散热和节能优势。
小巧机身，强劲动力。标准型^{PiezoLEGS® 线性}执行器提供6.5–40 N的推力（行程可达 ~75 mm）；平台扩展型可提供300–450 N的推力，适用于重型光学系统和晶圆级子系统。

决议：
- Open loop: < 1 nm with controller micro-stepping (up to 8192 micro-steps per waveform step)
- 闭合回路：12.5 nm
速度：从纳米/秒到~15-24 毫米/秒，取决于型号/驱动器。
行程：由驱动杆长度决定；紧凑型标准选项可达~74.5 mm。
力： 6.5 N、20 N、40 N（标准）；300-450 N（有盖/重型）。
真空度：通常为~10-⁷ torr，非磁性结构；可进行125 °C烘烤。

Example: LL10D non-magnetic/vacuum compatible motor with 6.5 N stall, 7 N hold, 0–15 mm/s, up to 74.5 mm stroke; magnetic flux < 1 nT at 10 mm.

^PiezoLEGS®电机是压电电机还是压电致动器？
两者皆是。该电机是一个压电致动器组件，通过受控的行走序列，作为压电电机执行有用的机械工作。

它们能在超高真空（UHV）和强磁场环境下工作吗？
非磁性/真空版本采用非磁性结构，其真空度规格约为10⁻⁷ 托。压电机构在半导体计量和定位领域的超高真空及强磁场环境中得到广泛应用。若需在更高真空度（UHV）环境下使用，请咨询我们以了解材料和表面处理选项。

能提供多大的推力和行程？
标准型^PiezoLEGS®线性压电马达的推力范围为6.5–40 N，行程可达约 75 mm。带护罩/重型型号的推力可达300–450 N。行程由驱动杆的长度决定。

使用编码器和 PMD 系列控制器，可以实现亚纳米级的指令增量；应用级分辨率取决于机械和噪声。

无论您是要升级计量轴、增加非磁性聚焦平台，还是重新设计真空机构，我们的工程师都能帮助您确定电机、控制器和反馈的尺寸，以满足您的半导体要求，并提供 OEM 就绪的组件。

与工程师交流 （我们将绘制需求图、分享参考设计并提供样品/EVK）。