高精度线性 6.5N 压电致动器
Piezo LEGS® LL06 压电直线执行器集成了编码器和内置导轨,适用于在狭小空间内精确定位的 OEM 应用。

6.5N 的力,卓越的尺寸力比和纳米精度
- 6.5 N 力
- 纳米级精度
- 高分辨率光学编码器
- 直接驱动 - 无间隙
- 在保持位置不耗电
- 断电时自动锁定
- 快速响应和高速动态
Piezo LEGS® LL06 线性推杆
6.5N 线性直接驱动压电致动器结构极为紧凑,重量仅为 16 克。它具有真正的直接驱动,无反向间隙,可在亚纳米范围内实现微步。这款紧凑型线性执行器可提供内置或不带内置编码器(如 1.25 µm 或 80 nm)和/或导轨的型号。
LL06 可配备高分辨率位置传感器和不同长度(30、40、50、60 和 100.8 毫米)的驱动杆。电机易于集成,可简化和缩小系统尺寸。
全力 6.5 牛顿断电锁定安全功能。
为了控制电机,我们提供了一系列驱动器和控制器。
规格 Piezo LEGS® LL06
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类型 |
标准 |
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最大行程 |
74.1 毫米 |
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速度范围 @ Rhomb,无负载,20ºC |
0.1nm/s – 20mm/s(请查看驱动程序) |
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步长,全步 @ Delta,无负载,20ºC |
4.5 µm(见图表) |
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最大速度(取决于驱动器和波形) |
12小时内迈出完整的一步 |
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最大工作频率(取决于驱动器) |
2.5 kHz |
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运动分辨率 |
<1nm |
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失速力 |
6.5 N |
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夹持力 |
>6.5 N |
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真空 |
不 |
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非磁性的 |
不 |
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工作电压 |
0-48 V(专有波形) |
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功耗 |
5 mW/Hz |
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带导轨和编码器的机械尺寸(长×高×深) |
23.4 × 19.6 × 10.5 毫米 |
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机械尺寸(长×高×深),不含导轨和编码器 |
17 × 19.6 × 10.5 毫米 |
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带 50 毫米驱动杆时的重量 |
16 g |
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电机外壳的材质 |
不锈钢 |
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工作温度(推荐) |
-20 至 +70°C |
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储存温度 |
-20 至 +70°C |
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内置编码器(30 毫米驱动杆型号不提供此功能) |
是的,可选 |
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编码器分辨率(编码器 E1) |
1.25 (编码器 E1、导轨 G1) |
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编码器分辨率(编码器 E2) |
0.08 µm |
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连接器电机(电机侧) |
广濑 DF52-5S-0.8H |
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连接器编码器(电机侧) |
广濑 DF52-6S-0.8H |
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控制 |
开环或闭环 |
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使用寿命(公里) |
11公里(半载,室温条件,600赫兹) |
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目录 |
每个完整冲程最多2次 |
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最大加速度 |
800赫兹/毫秒 |
Piezo LEGS® LL06 的尺寸
电机性能 LL06
波形 Rhomb(填充)和波形 Delta(虚线)的电机性能。全步长是指支腿迈出一整步(即一个波形周期)时驱动杆移动的平均距离。
注:应考虑 0.5 μm 的标准偏差 σ。给出的是 20ºC 时的典型值。

行程范围 LL06
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行程(毫米),带一个适配器
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传动杆长度(毫米)
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0-3.1
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30(不带编码器)
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0-13.1 |
40
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0-23.1 |
50
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0-33.1 |
60
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0-74.1 |
100.8
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20ºC时的电机速度
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波形
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最大频率(赫兹)
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速度范围(毫米/秒)
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三角洲
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3000
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0-15
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罗布泊 |
0-24
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LL06 前后

- 电机外壳 | 2.驱动杆 | 3.前适配器 | 4.驱动杆上的编码器刻度 | 5.集成编码器,1.25µm - 80 nm 分辨率 | 6.内置导向器 | 7.内置编码器,1.25µm - 80 nm 分辨率 | 8.内置导向装置

控制电机
我们的电机控制单元有多种不同版本,包括用于实验室的控制器和放大器,以及集成到 OEM 设备中的控制器和放大器。这些控制器与紧凑型线性执行器兼容,可实现最佳性能。
对于希望自行开发驱动电子设备的客户,我们也可以提供驱动程序授权。
入门套件
我们的入门套件旨在简化评估流程并加速开发进程。提供多种配置方案,涵盖启动测试和集成所选电机平台所需的一切组件。
每个套件都包含评估电机所需的组件。

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