450 牛,真空兼容线性推杆
Piezo LEGS® LTC450 具有纳米级分辨率和 450 N 的负载能力,行程为 20 毫米

半导体行业的亚纳米级精度
- 可抽真空
- 450 N 力
- 分辨率可达亚纳米级
- 20 毫米行程
- 自锁
- 无反冲
真正的直接线性驱动
该驱动技术采用直接驱动方式,即无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式驱动,将一个完整的波形步长划分为纳米级增量。速度范围从每秒纳米级到每秒毫米级,且可在整个动态范围内实现无缝控制,无需更改驱动模式。
孪生概念可在紧凑的机身中实现高力输出,在本例中,失速力为 450N。这样的设计更加坚固耐用,无需滚珠轴承。
它采用直接驱动,无反向间隙,可在亚纳米毫米范围内实现微步。专为真空环境设计
设计中固有的全力大于 450 牛顿的断电锁定安全功能。
规格 Piezo LEGS® LTC450 重型线性推杆
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类型 |
真空 (B) |
单位 |
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最大行程
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20
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嗯
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最高车速
取决于驾驶员 |
0.2
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毫米/秒
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最低速度
取决于驾驶员 |
1
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μm
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失速力
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450
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N
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夹持力
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>450
|
N
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真空
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是
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10-7 托
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非磁性的
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不
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工作电压
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42-49
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V
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功耗
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300
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mW/Hz
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机械尺寸 长×高×深
含导轨和编码器 |
不适用
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嗯
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机械尺寸 长×高×深
不含导轨和编码器 |
98 x 50 x 50 |
嗯
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重量
含 50 毫米驱动杆 |
1060
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克
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电机外壳的材质
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不锈钢
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工作温度
建议 |
+10 至 +70
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℃
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连接器电机
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带 JST O5SR-3S 的焊接电缆
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连接器编码器
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分辨率电机
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<1
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nm
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内置编码器
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不
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编码器分辨率
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不适用
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微米
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主要尺寸 LTC450
电机性能 LTC450
波形 Rhomb(填充)和波形 Delta(虚线)的电机性能。全步长是指支腿迈出一整步(即一个波形周期)时驱动杆移动的平均距离。
注:应考虑 0.5 μm 的标准偏差 σ。
典型值为 20ºC 时的值。

行程范围
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行程(毫米),带一个适配器
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传动杆长度(毫米)
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0-20 |
固定式
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空载 20ºC时的电机速度
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波形
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最大频率(赫兹)
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速度范围(毫米/秒)
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三角洲
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50
|
0-0.15
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罗布泊 |
0-0.2
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控制电机
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