450 牛,真空兼容线性推杆

Piezo LEGS® LTC450 具有纳米级分辨率和 450 N 的负载能力,行程为 20 毫米

Acuvi Piezo LEGS 线性 450N 压电电机

半导体行业的亚纳米级精度

  • 可抽真空
  • 450 N 力
  • 分辨率可达亚纳米级
  • 20 毫米行程
  • 自锁
  • 无反冲

真正的直接线性驱动

该驱动技术采用直接驱动方式,即无需齿轮或丝杠即可产生直线运动。电机通过微步进方式驱动,将一个完整的波形步长划分为纳米级增量。速度范围从每秒纳米级到每秒毫米级,且可在整个动态范围内实现无缝控制,无需更改驱动模式。

孪生概念可在紧凑的机身中实现高力输出,在本例中,失速力为 450N。这样的设计更加坚固耐用,无需滚珠轴承。

它采用直接驱动,无反向间隙,可在亚纳米毫米范围内实现微步。专为真空环境设计

设计中固有的全力大于 450 牛顿的断电锁定安全功能。

规格 Piezo LEGS® LTC450 重型线性推杆

类型

真空 (B)

单位

最大行程
20
最高车速
取决于驾驶员
0.2
毫米/秒
最低速度
取决于驾驶员
1
μm
失速力
450 
N
夹持力
>450
N
真空
10-7
非磁性的
 
工作电压
42-49
V
功耗
300
mW/Hz
机械尺寸 长×高×深
含导轨和编码器
不适用
机械尺寸 长×高×深
不含导轨和编码器
98 x 50 x 50
重量
含 50 毫米驱动杆
 1060
电机外壳的材质
不锈钢
 
工作温度
建议
+10 至 +70 
连接器电机
带 JST O5SR-3S 的焊接电缆
 
连接器编码器
 
 
分辨率电机
<1
nm
内置编码器
 
编码器分辨率
不适用
微米

主要尺寸 LTC450

电机性能 LTC450

波形 Rhomb(填充)和波形 Delta(虚线)的电机性能。全步长是指支腿迈出一整步(即一个波形周期)时驱动杆移动的平均距离。

注:应考虑 0.5 μm 的标准偏差 σ。
典型值为 20ºC 时的值。

行程范围

行程(毫米),带一个适配器
传动杆长度(毫米)

0-20

固定式

空载 20ºC时的电机速度

波形
最大频率(赫兹)
速度范围(毫米/秒)
三角洲
50
0-0.15

罗布泊

0-0.2
左侧为 PMD401 控制器,右侧为 PMD301 控制器

控制电机

我们的电机控制单元提供多种型号,包括适用于实验室的控制器和放大器,以及可集成到OEM设备中的型号。

对于希望自行开发驱动电子设备的客户,我们也可以提供驱动程序授权。