用于线性与旋转定位的精密平台
PiezoMotor 推出了一系列适用于高要求定位应用的新型精密平台。这五大家族化的平台产品系列，凭借 Piezo LEGS® 直驱技术，可实现闭环线性、垂直、旋转和角定位。
可选择X轴、XY、Z轴、旋转和测角平台。该产品系列可满足各种应用需求，涵盖行程、力、负载、速度、分辨率和定位几何形状等方面的不同要求。
一个产品系列。五个定位系列。
X轴精密平台
专为每微米都至关重要的应用而设计的精密定位技术。
带光阑的XY精密平台
集成了双轴定位功能，配备光学定位系统和两种力控选项。
Z轴精密平台
两种适用于行程控制或负载控制应用的垂直定位机构。
旋转精密平台
无需齿轮传动即可实现精细的有限角度旋转定位。
角测量精密平台
以70.5毫米或95.5毫米的虚拟旋转中心为轴，倾斜角小于1角秒。
PMSD401–PMSD404 精密平台控制器
无需使用独立驱动器，无需进行复杂的编码器集成，也无需反复进行兼容性测试。PMSD400系列专为PiezoMotor精密平台设计，提供了一个可扩展的平台，用于控制一至四个线性或角运动轴。
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专为OEM创新打造的高精度平台
Piezo LEGS® 直驱技术
紧凑型运动系统始于更简单的机械结构。
Piezo LEGS® 执行器直接驱动平台，电机与移动平台之间无需齿轮或丝杠。取消传统的机械传动机构，既减少了运动路径中的部件数量，又避免了传动间隙。
该技术特别适用于紧凑型OEM仪器，在这些仪器中，精度、机械稳定性以及安装空间的高效利用至关重要。
一旦到达指令位置，Piezo LEGS® 电机即可在无需持续供电的情况下保持机械锁定状态。这有助于限制敏感光学元件、探测器、样品及测量组件周围在静止状态下的发热量。
不确定如何为您的应用选择合适的线性舞台？请阅读我们的 高精度线性导轨选型指南。
Piezo LEGS® 精密平台的应用
半导体设备
高分辨率聚焦，发热量极低，且具有出色的静态稳定性。
尺寸检测与校准
可靠、可重复的运动，用于测量验证和设备校准。
光学对准
紧凑型多轴定位系统，用于光学元件的精确对准。
重载荷的精密垂直定位
具有高承载能力和稳定夹持能力的纳米级垂直定位。
先进显微镜技术
低轮廓、可重复的运动，用于自动样品扫描和物镜定位。
高精度激光定位
精确的多轴定位，用于将激光能量导向样品和组件。
