20N 비자기 및 진공 지원 고정밀 선형 액추에이터

Piezo LEGS® LT20 선형 피에조 액추에이터는 자기, 진공 또는 상온 및 상압(NTP) 환경에서의 정밀한 위치 지정에 중점을 둔 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다.

탁월한 크기 대 힘 비율과 나노미터 정밀도를 갖춘 선형 액추에이터입니다.

20N의 힘
비자성
진공 지원
나노미터 정밀도
다이렉트 드라이브 - 백래시 없음
홀드 위치에서 전력 소모 없음
빠른 응답과 고속 다이내믹

Piezo LEGS® LT20 선형 액추에이터

LT20 리니어 모터는 광범위한 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다. 통합의 용이성에 중점을 두고 설계되었습니다. 매우 빠른 속도와 나노미터 분해능으로 다양한 애플리케이션에 이상적입니다.

이 모터는 이동 및 홀드 애플리케이션 또는 자동 조정에 이상적입니다. 홀드 위치에 있을 때는 전력을 소비하지 않습니다. 드라이브 기술이 직접 구동되므로 선형 모션을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터에는 기계적 유격이나 백래시가 없습니다. LT20 리니어 모터는 표준 버전, 진공 버전, 비자기 진공 버전으로 제공됩니다.

이 제품은 웨이퍼 슬라이싱 및 연마, 리소그래피, 이온 구현, 웨이퍼 검사 및 계측을 위한 반도체 제조 기계에 매우 적합합니다.
Piezo LEGS® LT20은 약물 전달 시스템, 수술 도구 및 로봇 공학, 진단 및 영상 장치, 의료 재료 취급을 위한 Medtech 산업에서 사용됩니다.

Piezo LEGS® LT20 사양

유형	일반(A)	비자성(C)	비자성 진공 (D)
최대 스트로크	74.5 mm
속도 범위 @ Rhomb, 무부하, 20ºC	1 nm/s – 20 mm/s (드라이버 확인)
보폭, 풀 스텝 @ 델타, 무부하, 20ºC	3.3 µm
최대 속도 (운전자 및 파형에 따라 다름)	20 mm/s
최대 동작 주파수 (드라이버에 따라 다름)	2.5 kHz
운동 분해능	<1 N
스톨 포스	20 N
유지력	>20 N
진공	아니요		예 (^{10-7 토르})
비자성	아니요	네
최대 작동 전압	48 V
전력 소비량	10 mW/Hz
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이)	22 × 21.8 × 10.8 mm
50 mm 구동봉을 장착한 상태의 중량	29 g
모터 하우징의 재질	스테인리스강	Arcap (비자성)
작동 온도 (권장)	-20 ~ +70°C
보관 온도	-20 ~ +70°C
내장 인코더	아니요
커넥터 모터 (모터 측)	2 x JST BM05B-SRSS-TB		2개의 JST 05SR-3S 단자가 부착된 납땜 케이블
제어	개방 루프 또는 폐쇄 루프
수명 (km)	2.5 ×^{10⁹ WFM-S*}
목차	해당 사항 없음
최대 가속도	800Hz/ms