40N 진공 지원, 비자기 선형 액추에이터
Piezo LEGS® LT40 선형 피에조 액추에이터는 자기, 진공 또는 상온 및 상압(NTP) 환경에서 정밀한 위치 지정으로 무거운 물건을 들어 올리는 데 중점을 둔 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다.

헤비 리프터 40N의 힘. 나노미터 이하의 해상도.
- 진공 지원
- 비자성
- 서브나노미터 수준의 해상도
- 40 N의 힘
- 자동 잠금
- 반발 없음
진정한 직접 선형 구동
직접 구동 기술이 적용되어 선형 운동을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터는 마이크로 스테핑을 통해 작동하며, 전체 파형 단계를 나노미터 이하의 단위로 나눕니다. 속도는 초당 나노미터에서 초당 밀리미터까지 다양하며 전체 동적 범위 내에서 원활하게 제어할 수 있습니다. 또한 컴팩트한 본체 내에서 높은 힘 출력을 제공하여 40N의 스톨력과 61g에 불과한 무게를 구현합니다.
모터는 백래시가 없고 홀드 위치에서 전력을 소비하지 않습니다.
세 가지 버전으로 제공됩니다: 일반 환경용 표준 스테인리스 스틸(A), 비자기 버전(C), 비자기 진공 버전(D).
각 버전은 M1 또는 M2 마운팅으로 제공됩니다.
이 제품은 웨이퍼 슬라이싱 및 연마, 리소그래피, 이온 구현, 웨이퍼 검사 및 계측을 위한 반도체 제조 기계에 매우 적합합니다.
Piezo LEGS® LT40은 약물 전달 시스템, 수술 도구 및 로봇 공학, 진단 및 영상 장치, 의료 자재 취급을 위한 메드테크 산업에서사용되고 있습니다.
Piezo LEGS® LT40 사양
| 유형 | 일반(A) | 비자성(C) | 비자기 진공(D) | 단위 |
| 최대 스트로크 | 67 | 음 | ||
| 최대 속도 운전자에 따라 다름 | 12 | mm/s | ||
| 최저 속도 운전자에 따라 다름 | 1 | nm/s | ||
| 스톨 포스 | 40 | N | ||
| 유지력 | >40 | N | ||
| 진공 | 아니요 | 네 | ||
| 비자성 | 아니요 | 네 | ||
| 작동 전압 | 42-48 | V | ||
| 전력 소비량 | 20 | mW/Hz | ||
| 기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 포함 | 해당 사항 없음 | 음 | ||
| 기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 제외 | 32.1 x 24.2 x 23.1 | 음 | ||
| 무게 50mm 구동봉 포함 | 61 | 그램 | ||
| 모터 하우징의 재질 | 스테인리스강 | 아캡 / 비자기 | ||
| 작동 온도 권장 | -20 ~ +70 | ℃ | ||
| 커넥터 모터 | 2 x JST BM05B-SRSS-TB | 납땜 케이블 2 x JST O5SR-3S | ||
| 커넥터 인코더 | 해당 사항 없음 | |||
| 해상도 모터 | <1 | 음 | ||
| 내장 인코더 | 아니요 | |||
| 인코더 해상도 | 해당 사항 없음 | 음 | ||
주요 치수 Piezo LEGS® LT40
모터 성능 LT40
파형 마름모(채워짐) 및 파형 델타(점선)를 사용한 모터 성능. 전체 스텝 길이는 다리가 한 걸음(즉, 한 파형 주기 동안)을 완전히 걸을 때 구동봉이 움직이는 평균 거리입니다.
참고: 0.5μm의 표준 편차 σ를 고려해야 합니다.
일반적인 값은 20ºC에 대해 제공됩니다.

스트로크 범위
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어댑터 1개 사용 시 스트로크(mm)
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구동봉 길이(mm)
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0-6 |
40
|
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0-16 |
50
|
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0-26 |
60
|
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0-67 |
100.8
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20ºC에서 모터 속도
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파형
|
최대 주파수(Hz)
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속도 범위(mm/s)
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델타
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1500
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0-8
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Rhomb |
1500
|
0-12
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모터 제어
당사의 모터 제어 장치는 다양한 모델로 제공되며, 실험실용은 물론 OEM 장비에 통합할 수 있는 컨트롤러와 증폭기를 갖추고 있습니다.
또한 자체 드라이버 전자 장치를 제작하고자 하는 고객을 위해 드라이버 라이선스를 제공할 수 있습니다.
스타터 키트
당사의 스타터 키트는 평가를 간소화하고 개발을 가속화하도록 설계되었습니다. 다양한 구성으로 제공되며, 선택한 모터 플랫폼의 테스트 및 통합을 시작하는 데 필요한 모든 것을 제공합니다.
각 키트에는 모터 평가에 필요한 구성품이 포함되어 있습니다.

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