40N 진공 지원, 비자기 선형 액추에이터

Piezo LEGS® LT40 선형 피에조 액추에이터는 자기, 진공 또는 상온 및 상압(NTP) 환경에서 정밀한 위치 지정으로 무거운 물건을 들어 올리는 데 중점을 둔 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다.

40N 고정밀 선형 액추에이터. 진공 지원 및 비자기 버전 사용 가능 — Acuvi 피에조 레그 선형 40N 피에조 모터

헤비 리프터 40N의 힘. 나노미터 이하의 해상도.

진공 지원
비자성
서브나노미터 수준의 해상도
40 N의 힘
자동 잠금
반발 없음

진정한 직접 선형 구동

직접 구동 기술이 적용되어 선형 운동을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터는 마이크로 스테핑을 통해 작동하며, 전체 파형 단계를 나노미터 이하의 단위로 나눕니다. 속도는 초당 나노미터에서 초당 밀리미터까지 다양하며 전체 동적 범위 내에서 원활하게 제어할 수 있습니다. 또한 컴팩트한 본체 내에서 높은 힘 출력을 제공하여 40N의 스톨력과 61g에 불과한 무게를 구현합니다.
모터는 백래시가 없고 홀드 위치에서 전력을 소비하지 않습니다.
세 가지 버전으로 제공됩니다: 일반 환경용 표준 스테인리스 스틸(A), 비자기 버전(C), 비자기 진공 버전(D).
각 버전은 M1 또는 M2 마운팅으로 제공됩니다.

이 제품은 웨이퍼 슬라이싱 및 연마, 리소그래피, 이온 구현, 웨이퍼 검사 및 계측을 위한 반도체 제조 기계에 매우 적합합니다.
Piezo LEGS® LT40은 약물 전달 시스템, 수술 도구 및 로봇 공학, 진단 및 영상 장치, 의료 자재 취급을 위한 메드테크 산업에서사용되고 있습니다.

Piezo LEGS® LT40 사양

유형	일반(A)	비자성(C)	비자성 진공 (D)
최대 스트로크	67 mm
속도 범위 @ Rhomb, 무부하, 20ºC	1 nm/s – 12 mm/s (드라이버 확인)
보폭, 풀 스텝 @ 델타, 무부하, 20ºC	5 µm
최대 속도 (운전자 및 파형에 따라 다름)	12 mm/s
최대 동작 주파수 (드라이버에 따라 다름)	1.5 kHz
운동 분해능	<1 N
스톨 포스	40 N
유지력	>40 N
진공	아니요		예 (^{10-7 토르})
비자성	아니요	네
최대 작동 전압	48 V
전력 소비량	20 mW/Hz
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이)	32.1 x 24.2 x 23.1
50 mm 구동봉을 장착한 상태의 중량	61 g
모터 하우징의 재질	스테인리스강	Arcap (비자성)
작동 온도 (권장)	-20 ~ +70°C
보관 온도	-20 ~ +70°C
내장 인코더	아니요
커넥터 모터 (모터 측)	2 x JST BM05B-SRSS-TB		2개의 JST 05SR-3S 단자가 부착된 납땜 케이블
제어	개방 루프 또는 폐쇄 루프
수명 (km)	2.5 ×^{10⁹ WFM-S*}
목차	해당 사항 없음
최대 가속도	800Hz/ms