선형 및 회전 위치 결정용 정밀 스테이지
PiezoMotor는 까다로운 위치 결정 응용 분야를 위한 새로운 정밀 스테이지 제품군을 선보입니다. 5가지 상호 연동된 스테이지 제품군은 Piezo LEGS® 직접 구동 기술을 기반으로 폐쇄 루프 방식의 선형, 수직, 회전 및 각도 측정 위치 결정 기능을 제공합니다.
X축, XY축, Z축, 회전 스테이지 및 각도 측정 스테이지 중에서 선택하십시오. 이 제품군은 이동 거리, 힘, 적재 하중, 속도, 분해능 및 위치 결정 기하학적 구조에 대한 다양한 요구 사항을 가진 응용 분야를 지원합니다.
하나의 포트폴리오. 다섯 가지 포지셔닝 그룹.
X축 정밀 스테이지
1마이크론 단위의 정밀도가 중요한 응용 분야를 위해 설계된 정밀 위치 결정 기술.
조리개가 장착된 XY 정밀 스테이지
광학식 접근 방식과 두 가지 힘 제어 옵션을 갖춘 통합형 2축 위치 결정 기능.
Z축 정밀 스테이지
이동 주도형 또는 하중 주도형 응용 분야를 위한 두 가지 수직 위치 결정 장치.
로터리 정밀 스테이지
기어 변속 장치 없이도 정밀한 제한 각도 회전 위치 조정이 가능합니다.
각도 측정용 정밀 스테이지
70.5 mm 또는 95.5 mm 가상 회전 중심을 기준으로 한 아크초 미만의 기울기.
PMSD401–PMSD404 정밀 스테이지용 컨트롤러
별도의 드라이버 사용, 까다로운 인코더 통합, 반복적인 호환성 테스트를 피하십시오. PiezoMotor 정밀 스테이지를 위해 독점적으로 설계된 PMSD400 제품군은 1개에서 4개까지의 선형 또는 각도 운동 축을 제어할 수 있는 확장 가능한 단일 플랫폼을 제공합니다.
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당사의 엔지니어들이 귀하의 프로젝트를 도와드리겠습니다.
OEM 혁신을 위해 제작된 정밀 스테이지
Piezo LEGS® 직결 구동 기술
컴팩트한 동작은 더 단순한 기계적 구조에서 시작됩니다.
Piezo LEGS® 액추에이터는 모터와 이동 플랫폼 사이에 기어나 리드스크루를 거치지 않고 스테이지를 직접 구동합니다. 기존의 기계식 전달 장치를 제거함으로써 운동 경로상의 부품 수를 줄이고 전달 과정에서의 백래시를 방지합니다.
이 기술은 정밀도, 기계적 안정성 및 설치 공간의 효율적인 활용이 특히 중요한 소형 OEM 계측기에 매우 적합합니다.
지정된 위치에 도달하면, Piezo LEGS® 모터는 지속적인 모터 구동 없이도 기계적 고정 상태를 유지할 수 있습니다. 이를 통해 민감한 광학 부품, 검출기, 시료 및 측정 부품 주변에서 정지 상태 시 발생하는 발열을 최소화할 수 있습니다.
사용 목적에 맞는 적절한 스테이지를 어떻게 선정해야 할지 잘 모르시겠나요? 당사의 고정밀 리니어 스테이지 선택 가이드를 확인해 보세요를 확인해 보세요.
Piezo LEGS® 정밀 스테이지의 응용 분야
반도체 장비
발열을 최소화하면서도 고해상도 초점 조절이 가능하며, 정적 안정성이 뛰어납니다.
치수 검사 및 교정
측정 검증 및 장비 교정을 위한 안정적이고 재현성 높은 동작.
광학 정렬
광학 부품의 정밀한 정렬을 위한 소형 다축 위치 결정 장치.
중량물의 정밀한 수직 위치 조정
높은 하중 수용 능력과 안정적인 고정력을 갖춘 나노미터 단위의 수직 위치 조정.
고급 현미경 기술
자동화된 시료 스캐닝 및 대물렌즈 위치 조정을 위한 저프로파일 방식의 반복 정밀 동작.
정밀 레이저 위치 결정
시료 및 부품에 레이저 에너지를 정확히 조사하기 위한 정밀한 다축 위치 결정.
