Piezo LEGS® X축 정밀 스테이지

모션, 완성.

1마이크론 단위의 정밀도가 중요한 응용 분야를 위해 설계된 정밀 위치 결정 기술.

8 / 16 / 25 mm

여행 옵션

6 N / 20 N

정지력 클래스

40 nm

인코더 해상도

안정적이고 반복성이 뛰어난 위치 지정을 위해 제작된 정밀 스테이지

X-axis 제품군은 세 가지 이동 거리 등급에 걸쳐 폐쇄 루프 방식의 단축 모션 기능을 제공합니다. 총 5가지 모델 모두 40 nm의 엔코더 분해능, ±40 nm의 반복정밀도, 그리고 다이렉트 드라이브 방식의 Piezo LEGS® 고정 방식을 갖추고 있습니다. 고객은 먼저 이동 거리를 선택한 다음, 제공되는 6 N 또는 20 N 힘 등급 중 하나를 선택합니다.

주요 이점

8, 16 또는 25 mm의 총 이동 거리
6 N 또는 20 N 스톨 하중 등급
40 nm 인코더 분해능
±40 nm의 재현성
최대 3kg까지 적재 가능
모터의 지속적인 동력 공급 없이도 안정적인 유지

작은 움직임. 큰 영향.

정밀도가 성능을 좌우할 때, 모든 움직임이 중요합니다. Piezo LEGS® 기술은 기존의 복잡한 전달 메커니즘 없이도 직접적이고 정밀한 움직임을 구현합니다.

정밀도

정밀 위치 결정이 요구되는 용도를 위한 40 nm 분해능.

안정성

모터의 지속적인 동력 공급 없이 위치를 유지합니다.

단순함

기계적 구성 요소가 더 적은 다이렉트 드라이브 방식.

혁신을 이끌어 나가기 위해 만들어졌습니다.

첨단 광학 기술부터 분석 장비에 이르기까지, 정밀한 구동 기술은 시스템의 성능 향상을 가능하게 합니다.

ALIGN

Ootics, 레이저 및 센서를 안심하고 사용하세요.

직책

렌즈, 검출기, 광섬유 및 시료를 필요한 곳에 정확하게 배치합니다.

스캔

이미징, 검사 및 측정을 위해 부드럽고 반복적으로

보류

안정적으로 위치를 유지하면서 전력 소모를 최소화하십시오.

단 하나의 무대. 모든 동작에 담긴 정밀함.

나에게 딱 맞는 것을 찾아보세요.

여행

8 / 16 / 25 mm

스톨 포스

6 N / 20 N

로드

최대 2kg

해상도

40 nm

속도

최대 5mm/s

기술 사양

모델	운동 범위	스톨 포스	로드	최대 속도	무게
LLS-X-06-8-C-E40	±4 mm (총 8 mm)	6 N	1kg	5 mm/s	250 g
LLS-X-06-16-C-E40	±8 mm (총 16 mm)	6 N	2 kg	5 mm/s	650 g
LLS-X-20-16-C-E40	±8 mm (총 16 mm)	20 N	2 kg	5 mm/s	650 g
LLS-X-06-25-C-E40	±12.5 mm (총 25 mm)	6 N	3kg	5 mm/s	1.0 kg
LLS-X-20-25-C-E40	±12.5 mm (총 25 mm)	20 N	3kg	5 mm/s	1.0 kg

공통 플랫폼 사양

사양	가족 구성
인코더 해상도	40 nm
위치 결정 반복성	±40 nm
본체 재질	알루미늄
권장 컨트롤러	PMSD401
무대 케이블	CKS-20, 2 m; 포함 수량은 추후 확정 예정