20N非磁性真空対応高精度リニアアクチュエーター

Piezo LEGS® LT20 リニアピエゾアクチュエーターは、磁気環境、真空環境、または常温常圧(NTP)環境における精密位置決めを主目的としたOEM用途向けに設計されています。

20N非磁性真空対応高精度リニアアクチュエーター
Acuvi LT20 リニアアクチュエーター

卓越したサイズ対推力比とナノメートル級の精度を備えたリニアアクチュエーター。

  • 20 N推力
  • 非磁性
  • 真空対応
  • ナノメートル級の精度
  • ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
  • 静止保持時の電力消費なし
  • 素早いレスポンスと高速ダイナミクス

Piezo LEGS® LT20 リニアアクチュエーター

LT20 リニアモーターは、幅広い OEM アプリケーションを対象としています。設計の焦点は、組み込みのしやすさにあります。非常に高速なダイナミクスとナノメートルの分解能により、多くの用途に最適です。 

このモーターは、移動と保持のアプリケーションや自動調整に最適です。ホールドポジションでは電力を消費しません。駆動テクノロジーはダイレクトで、リニアモーションを生み出すためにギアやリードスクリューは必要ありません。モータには機械的な遊びやバックラッシュがありません。LT20 リニアモータには、標準バージョン、真空バージョン、および非磁性真空バージョンがあります。

半導体製造装置において、ウエハーの切断・研磨、リソグラフィ、イオン注入、ウエハー検査・計測に最適です。
Piezo LEGS® LT20 は  医療技術産業において、投薬システム、手術器具、医療ロボット、診断・画像診断装置、医療材料ハンドリングなどの分野で使用されています。

仕様 Piezo LEGS® LT20

種類ノーマル(A)非磁性(C)非磁性真空 (D)単位
最大ストローク74.5うーん
最高速度
ドライバーに依存
24mm/s
最低速度
運転者による
1nm/s
失速推力20 N
保持推力>20N
真空いいえはい10-7 torr
非磁性いいえはい
動作電圧42-48V
消費電力10mW/Hz
外形寸法(幅×高さ×奥行き)
ガイドおよびエンコーダ付き
N/Aうーん
外形寸法(幅×高さ×奥行き)
ガイドおよびエンコーダを除く
22 x 21.8 x 10.8 うーん
重量
50 mmの駆動ロッド付き
29グラム
モーターハウジングの材質ステンレス鋼アルキャップ/非磁性
動作温度
推奨
-20~+70 
コネクタモーター2 x JST BM05B-SRSS-TBハンダ付けケーブル 2 x JST O5SR-3S
コネクタエンコーダN/A
解像度モーター<1nm
内蔵エンコーダいいえ
エンコーダ分解能N/A

主要寸法 Piezo LEGS® LT20

モーター性能 LT20

Rhomb波形(実線)とDelta波形(点線)によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ(すなわち波形1サイクル)したときのドライブロッドの平均移動距離。

注:標準偏差σは0.5μmを考慮する必要がある。
標準的な値は20℃での値である。

ストローク範囲

1アダプタあたりのストローク(mm)
ドライブロッド長(mm)
0-6.6
30

0-16.6

40

0-26-6

50

0-36.6

60

0-46.6

70

0-77.4

101

20 ºCにおけるモーター速度

波形
最大周波数 (Hz)
速度範囲 (mm/s)
Delta
3000
0-15

Rhomb

3000
0-24
Acuvi ピエゾアクチュエーター用コントローラー
左側がコントローラーPMD401、右側がPMD301

モーターの制御

当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。

また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。

スターターキット

当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。

各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。

ピエゾモーター用スターターキット
Acuviリニアアクチュエーター向けスターターキット

LT20の設定と見積もり

環境

用途はどのような環境で使用されますか?

アダプター

ドライブロッドはどのように装備しますか?

ストローク

必要な最大ストロークは?

パッケージタイプ

お見積もりのご希望は?