20N非磁性真空対応高精度リニアアクチュエーター
Piezo LEGS® LT20 リニアピエゾアクチュエーターは、磁気環境、真空環境、または常温常圧(NTP)環境における精密位置決めを主目的としたOEM用途向けに設計されています。

卓越したサイズ対推力比とナノメートル級の精度を備えたリニアアクチュエーター。
- 20 N推力
- 非磁性
- 真空対応
- ナノメートル級の精度
- ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
- 静止保持時の電力消費なし
- 素早いレスポンスと高速ダイナミクス
Piezo LEGS® LT20 リニアアクチュエーター
LT20 リニアモーターは、幅広い OEM アプリケーションを対象としています。設計の焦点は、組み込みのしやすさにあります。非常に高速なダイナミクスとナノメートルの分解能により、多くの用途に最適です。
このモーターは、移動と保持のアプリケーションや自動調整に最適です。ホールドポジションでは電力を消費しません。駆動テクノロジーはダイレクトで、リニアモーションを生み出すためにギアやリードスクリューは必要ありません。モータには機械的な遊びやバックラッシュがありません。LT20 リニアモータには、標準バージョン、真空バージョン、および非磁性真空バージョンがあります。
半導体製造装置において、ウエハーの切断・研磨、リソグラフィ、イオン注入、ウエハー検査・計測に最適です。
Piezo LEGS® LT20 は 医療技術産業において、投薬システム、手術器具、医療ロボット、診断・画像診断装置、医療材料ハンドリングなどの分野で使用されています。
仕様 Piezo LEGS® LT20
| 種類 | ノーマル(A) | 非磁性(C) | 非磁性真空 (D) | 単位 |
| 最大ストローク | 74.5 | うーん | ||
| 最高速度 ドライバーに依存 | 24 | mm/s | ||
| 最低速度 運転者による | 1 | nm/s | ||
| 失速推力 | 20 | N | ||
| 保持推力 | >20 | N | ||
| 真空 | いいえ | はい | 10-7 torr | |
| 非磁性 | いいえ | はい | ||
| 動作電圧 | 42-48 | V | ||
| 消費電力 | 10 | mW/Hz | ||
| 外形寸法(幅×高さ×奥行き) ガイドおよびエンコーダ付き | N/A | うーん | ||
| 外形寸法(幅×高さ×奥行き) ガイドおよびエンコーダを除く | 22 x 21.8 x 10.8 | うーん | ||
| 重量 50 mmの駆動ロッド付き | 29 | グラム | ||
| モーターハウジングの材質 | ステンレス鋼 | アルキャップ/非磁性 | ||
| 動作温度 推奨 | -20~+70 | ℃ | ||
| コネクタモーター | 2 x JST BM05B-SRSS-TB | ハンダ付けケーブル 2 x JST O5SR-3S | ||
| コネクタエンコーダ | N/A | |||
| 解像度モーター | <1 | nm | ||
| 内蔵エンコーダ | いいえ | |||
| エンコーダ分解能 | N/A | |||
主要寸法 Piezo LEGS® LT20
モーター性能 LT20
Rhomb波形(実線)とDelta波形(点線)によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ(すなわち波形1サイクル)したときのドライブロッドの平均移動距離。
注:標準偏差σは0.5μmを考慮する必要がある。
標準的な値は20℃での値である。

ストローク範囲
|
1アダプタあたりのストローク(mm)
|
ドライブロッド長(mm)
|
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0-6.6
|
30
|
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0-16.6 |
40
|
|
0-26-6 |
50
|
|
0-36.6 |
60
|
|
0-46.6 |
70
|
|
0-77.4 |
101
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20 ºCにおけるモーター速度
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波形
|
最大周波数 (Hz)
|
速度範囲 (mm/s)
|
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Delta
|
3000
|
0-15
|
|
Rhomb |
3000
|
0-24
|

モーターの制御
当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。
また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。
スターターキット
当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。
各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。

LT20の設定と見積もり







