20N 비자기 및 진공 지원 고정밀 선형 액추에이터
Piezo LEGS® LT20 선형 피에조 액추에이터는 자기, 진공 또는 상온 및 상압(NTP) 환경에서의 정밀한 위치 지정에 중점을 둔 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다.

탁월한 크기 대 힘 비율과 나노미터 정밀도를 갖춘 선형 액추에이터입니다.
- 20N의 힘
- 비자성
- 진공 지원
- 나노미터 정밀도
- 다이렉트 드라이브 - 백래시 없음
- 홀드 위치에서 전력 소모 없음
- 빠른 응답과 고속 다이내믹
Piezo LEGS® LT20 선형 액추에이터
LT20 리니어 모터는 광범위한 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다. 통합의 용이성에 중점을 두고 설계되었습니다. 매우 빠른 속도와 나노미터 분해능으로 다양한 애플리케이션에 이상적입니다.
이 모터는 이동 및 홀드 애플리케이션 또는 자동 조정에 이상적입니다. 홀드 위치에 있을 때는 전력을 소비하지 않습니다. 드라이브 기술이 직접 구동되므로 선형 모션을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터에는 기계적 유격이나 백래시가 없습니다. LT20 리니어 모터는 표준 버전, 진공 버전, 비자기 진공 버전으로 제공됩니다.
이 제품은 웨이퍼 슬라이싱 및 연마, 리소그래피, 이온 구현, 웨이퍼 검사 및 계측을 위한 반도체 제조 기계에 매우 적합합니다.
Piezo LEGS® LT20은 약물 전달 시스템, 수술 도구 및 로봇 공학, 진단 및 영상 장치, 의료 재료 취급을 위한 Medtech 산업에서 사용됩니다.
Piezo LEGS® LT20 사양
| 유형 | 일반(A) | 비자성(C) | 비자기 진공(D) | 단위 |
| 최대 스트로크 | 74.5 | 음 | ||
| 최대 속도 운전자에 따라 다름 | 24 | mm/s | ||
| 최저 속도 운전자에 따라 다름 | 1 | nm/s | ||
| 스톨 포스 | 20 | N | ||
| 유지력 | >20 | N | ||
| 진공 | 아니요 | 네 | 10-7 토르 | |
| 비자성 | 아니요 | 네 | ||
| 작동 전압 | 42-48 | V | ||
| 전력 소비량 | 10 | mW/Hz | ||
| 기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 포함 | 해당 사항 없음 | 음 | ||
| 기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 제외 | 22 x 21.8 x 10.8 | 음 | ||
| 무게 50mm 구동봉 포함 | 29 | 그램 | ||
| 모터 하우징의 재질 | 스테인리스 스틸 | 아캡/비자기 | ||
| 작동 온도 권장 | -20 ~ +70 | ℃ | ||
| 커넥터 모터 | 2 x JST BM05B-SRSS-TB | 납땜 케이블 2 x JST O5SR-3S | ||
| 커넥터 인코더 | 해당 사항 없음 | |||
| 해상도 모터 | <1 | 음 | ||
| 내장 인코더 | 아니요 | |||
| 인코더 해상도 | 해당 사항 없음 | |||
주요 치수 Piezo LEGS® LT20
모터 성능 LT20
파형 마름모(채워짐) 및 파형 델타(점선)를 사용한 모터 성능. 전체 스텝 길이는 다리가 한 걸음(즉, 한 파형 주기 동안)을 완전히 걸을 때 구동봉이 움직이는 평균 거리입니다.
참고: 0.5μm의 표준 편차 σ를 고려해야 합니다.
일반적인 값은 20ºC에 대해 제공됩니다.

스트로크 범위
|
어댑터 1개 사용 시 스트로크(mm)
|
구동봉 길이(mm)
|
|
0-6.6
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30
|
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0-16.6 |
40
|
|
0-26-6 |
50
|
|
0-36.6 |
60
|
|
0-46.6 |
70
|
|
0-77.4 |
101
|
20ºC에서 모터 속도
|
파형
|
최대 주파수(Hz)
|
속도 범위(mm/s)
|
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델타
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3000
|
0-15
|
|
Rhomb |
3000
|
0-24
|

모터 제어
당사의 모터 제어 장치는 다양한 모델로 제공되며, 실험실용은 물론 OEM 장비에 통합할 수 있는 컨트롤러와 증폭기를 갖추고 있습니다.
또한 자체 드라이버 전자 장치를 제작하고자 하는 고객을 위해 드라이버 라이선스를 제공할 수 있습니다.
스타터 키트
당사의 스타터 키트는 평가를 간소화하고 개발을 가속화하도록 설계되었습니다. 다양한 구성으로 제공되며, 선택한 모터 플랫폼의 테스트 및 통합을 시작하는 데 필요한 모든 것을 제공합니다.
각 키트에는 모터 평가에 필요한 구성품이 포함되어 있습니다.

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