20N 비자기 및 진공 지원 고정밀 선형 액추에이터

Piezo LEGS® LT20 선형 피에조 액추에이터는 자기, 진공 또는 상온 및 상압(NTP) 환경에서의 정밀한 위치 지정에 중점을 둔 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다.

20N 비자기 및 진공 지원 고정밀 선형 액추에이터
Acuvi LEGS® LT20 선형 액추에이터

탁월한 크기 대 힘 비율과 나노미터 정밀도를 갖춘 선형 액추에이터입니다.

  • 20N의 힘
  • 비자성
  • 진공 지원
  • 나노미터 정밀도
  • 다이렉트 드라이브 - 백래시 없음
  • 홀드 위치에서 전력 소모 없음
  • 빠른 응답과 고속 다이내믹

Piezo LEGS® LT20 선형 액추에이터

LT20 리니어 모터는 광범위한 OEM 애플리케이션을 위한 제품입니다. 통합의 용이성에 중점을 두고 설계되었습니다. 매우 빠른 속도와 나노미터 분해능으로 다양한 애플리케이션에 이상적입니다. 

이 모터는 이동 및 홀드 애플리케이션 또는 자동 조정에 이상적입니다. 홀드 위치에 있을 때는 전력을 소비하지 않습니다. 드라이브 기술이 직접 구동되므로 선형 모션을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터에는 기계적 유격이나 백래시가 없습니다. LT20 리니어 모터는 표준 버전, 진공 버전, 비자기 진공 버전으로 제공됩니다.

이 제품은 웨이퍼 슬라이싱 및 연마, 리소그래피, 이온 구현, 웨이퍼 검사 및 계측을 위한 반도체 제조 기계에 매우 적합합니다.
Piezo LEGS® LT20은 약물 전달 시스템, 수술 도구 및 로봇 공학, 진단 및 영상 장치, 의료 재료 취급을 위한 Medtech 산업에서 사용됩니다.

Piezo LEGS® LT20 사양

유형일반(A)비자성(C)비자기 진공(D)단위
최대 스트로크74.5
최대 속도
운전자에 따라 다름
24mm/s
최저 속도
운전자에 따라 다름
1nm/s
스톨 포스20 N
유지력>20N
진공아니요10-7 토르
비자성아니요
작동 전압42-48V
전력 소비량10mW/Hz
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이)
가이드 및 인코더 포함
해당 사항 없음
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이)
가이드 및 인코더 제외
22 x 21.8 x 10.8 
무게
50mm 구동봉 포함
29그램
모터 하우징의 재질스테인리스 스틸아캡/비자기
작동 온도
권장
-20 ~ +70 
커넥터 모터2 x JST BM05B-SRSS-TB납땜 케이블 2 x JST O5SR-3S
커넥터 인코더해당 사항 없음
해상도 모터<1
내장 인코더아니요
인코더 해상도해당 사항 없음

주요 치수 Piezo LEGS® LT20

모터 성능 LT20

파형 마름모(채워짐) 및 파형 델타(점선)를 사용한 모터 성능. 전체 스텝 길이는 다리가 한 걸음(즉, 한 파형 주기 동안)을 완전히 걸을 때 구동봉이 움직이는 평균 거리입니다.

참고: 0.5μm의 표준 편차 σ를 고려해야 합니다.
일반적인 값은 20ºC에 대해 제공됩니다.

스트로크 범위

어댑터 1개 사용 시 스트로크(mm)
구동봉 길이(mm)
0-6.6
30

0-16.6

40

0-26-6

50

0-36.6

60

0-46.6

70

0-77.4

101

20ºC에서 모터 속도

파형
최대 주파수(Hz)
속도 범위(mm/s)
델타
3000
0-15

Rhomb

3000
0-24
Acuvi 피에조 액추에이터용 컨트롤러
왼쪽에 PMD401 컨트롤러, 오른쪽에 PMD301 컨트롤러

모터 제어

당사의 모터 제어 장치는 다양한 모델로 제공되며, 실험실용은 물론 OEM 장비에 통합할 수 있는 컨트롤러와 증폭기를 갖추고 있습니다.

또한 자체 드라이버 전자 장치를 제작하고자 하는 고객을 위해 드라이버 라이선스를 제공할 수 있습니다.

스타터 키트

당사의 스타터 키트는 평가를 간소화하고 개발을 가속화하도록 설계되었습니다. 다양한 구성으로 제공되며, 선택한 모터 플랫폼의 테스트 및 통합을 시작하는 데 필요한 모든 것을 제공합니다.

각 키트에는 모터 평가에 필요한 구성품이 포함되어 있습니다.

피에조 모터용 스타터 키트
Acuvi 선형 액추에이터용 스타터 키트

LT20 구성 및 견적 받기

환경

어떤 환경에서 애플리케이션을 사용하시나요?

어댑터

드라이브 로드를 어떻게 장착하고 싶으신가요?

스트로크

최대 스트로크는 어느 정도인가요?

패키지 유형

무엇에 대한 견적을 받고 싶으신가요?