450N, 진공 호환 선형 액추에이터

Piezo LEGS® LTC450은 20mm 스트로크에 450N의 부하 용량으로 나노미터 분해능을 제공합니다.

반도체 산업을 위한 나노미터 이하의 정밀도

진공 지원
450 N 힘
서브나노미터 수준의 해상도
20mm 스트로크
자동 잠금
반발 없음

진정한 직접 선형 구동

이 구동 기술은 직접 구동 방식이므로, 직선 운동을 생성하는 데 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 모터는 전체 파형 단계를 나노미터 단위로 세분화하는 마이크로스테핑 방식으로 움직입니다. 속도는 초당 나노미터에서 초당 밀리미터까지 다양하며, 구동 모드를 변경할 필요 없이 전체 동적 범위에서 원활하게 제어할 수 있습니다.

트윈 컨셉은 컴팩트한 바디에서 높은 힘(이 경우 450N의 스톨력)을 발휘합니다. 볼 베어링 없이도 더욱 견고한 설계가 가능합니다.

백래시 없이 직접 구동되며 나노밀리미터 미만의 마이크로 스텝이 가능합니다. 진공 환경을 위한 설계

설계에 내재된 450뉴턴 이상의 최대 힘으로 전원 차단 잠금 안전 기능을 제공합니다.

사양 Piezo LEGS® LTC450 헤비 듀티 선형 액추에이터

유형	진공(B)	단위
최대 스트로크	20	음
최대 속도 운전자에 따라 다름	0.2	mm/s
최저 속도 운전자에 따라 다름	1	μm
스톨 포스	450	N
유지력	>450	N
진공	네	^10-7토르
비자성	아니요
작동 전압	42-49	V
전력 소비량	300	mW/Hz
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 포함	해당 사항 없음	음
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이) 가이드 및 인코더 제외	98 x 50 x 50	음
무게 50mm 구동봉 포함	1060	그램
모터 하우징의 재질	스테인리스강
작동 온도 권장	+10 ~ +70	℃
커넥터 모터	JST O5SR-3S 납땜 케이블
커넥터 인코더
해상도 모터	<1	음
내장 인코더	아니요
인코더 해상도	해당 사항 없음	µm