Piezo LEGS® 각도 측정 정밀 스테이지
모션, 완성.
70.5 mm 또는 95.5 mm 가상 회전 중심을 기준으로 한 아크초 미만의 기울기.
70.5 / 95.5 mm
센터 높이
0.2 초각
인코더 해상도
±1°
각도 변위
안정적이고 반복성이 뛰어난 위치 지정을 위해 제작된 정밀 스테이지
고니오메트릭 제품군은 정의된 가상 중심을 기준으로 ±1°의 기울기 측정이 가능합니다. 두 모델 모두 0.2 아크초의 분해능을 제공하며, 고객은 기기의 기하학적 구조에 맞춰 70.5 mm 또는 95.5 mm의 회전 중심 높이를 선택할 수 있습니다.

주요 이점
- 회전 중심 높이 70.5 또는 95.5 mm
- ±1°의 각도 이동 범위
- 0.2 아크초 분해능
- ±0.2 초각의 반복성
- 최대 속도 2.4 또는 3.6°/s
- 2kg 적재 용량
이 단계가 어디에 해당하는지
고니오메트릭 제품군은 두 가지 가상 회전 중심 높이에 대해 하나의 랜딩 페이지를 사용합니다. 고객은 70.5mm 또는 95.5mm 중심이 기기의 광학축, 시료 지점 또는 측정 지점과 가장 잘 일치하는 모델을 선택합니다.
왜 Piezo LEGS® 다이렉트 드라이브인가
정의된 가상 회전 중심을 사용하면, 단순한 베이스 장착형 피벗에 비해 관심 지점에서 원치 않는 평행 이동을 최소화하면서 각도 정렬이 가능합니다. Piezo LEGS®를 직접 구동함으로써 기어 백래시를 방지하며, 광학 스케일은 폐루프 틸트 보정을 위해 0.2 아크초의 분해능을 제공합니다.
작은 움직임. 큰 영향.
정밀도가 성능을 좌우할 때, 모든 움직임이 중요합니다. Piezo LEGS® 기술은 기존의 복잡한 전달 메커니즘 없이도 직접적이고 정밀한 움직임을 구현합니다.
정밀도
정밀한 기울기 정렬을 위한 0.2 아크초 분해능.
안정성
모터에 지속적으로 전력을 공급하지 않아도 미세한 기울기를 유지할 수 있습니다.
기하학
적분을 위한 두 개의 가상 회전 중심 높이.
혁신을 이끌어 나가기 위해 만들어졌습니다.
첨단 광학 기술부터 분석 장비에 이르기까지, 정밀한 구동 기술은 시스템의 성능 향상을 가능하게 합니다.
ALIGN
광축과 빔라인 구성 요소를 설정하십시오.
TILT
오리엔트 거울, 크리스탈 및 표본.
측정
회절 및 각도 계측을 지원합니다.
보류
관심 지점에서 1초각 미만의 기울기를 유지하십시오.
하나의 가족. 모든 움직임에 정밀함을 담다.
대표적인 적용 분야
- 빔라인 및 광축 정렬
- 거울, 프리즘 및 결정의 배향
- 검출기 및 시료 기울기 조정
- 회절 및 분광 분석 기기
- 정밀 각도 계측
이를 통해 가능한 점
- 광학 부품을 스테이지 표면 위 70.5 mm 지점에 위치한 가상 중심을 기준으로 회전시키십시오.
- 단순한 피벗 메커니즘에서 발생하는 평행 이동을 유발하지 않고 결정, 검출기 또는 시료를 정렬합니다.
- 광학 기기, X선 기기 또는 분석 기기에서 반복 가능한 미세 기울기 보정을 적용합니다.
- 광학 부품을 스테이지 표면 위 95.5 mm 지점에 위치한 가상 중심을 기준으로 회전시키십시오.
나에게 딱 맞는 것을 찾아보세요.
회전 중심 높이가 70.5 mm이고 최대 3.6°/s인 모델의 경우 LRGS-705-20-2-C-E40을 선택하십시오. 회전 중심 높이가 95.5 mm이고 최대 2.4°/s인 모델의 경우 LRGS-955-20-2-C-E40을 선택하십시오. 그 외 각도 이동 범위, 분해능, 반복정밀도 및 하중 용량은 두 모델이 동일합니다.
기술 사양
|
모델 |
운동 범위 |
스톨 포스 |
로드 |
최대 속도 |
무게 |
|
LRGS-705-20-2-C-E40 |
±1° (총 2°) |
20 N 액추에이터 정지 힘 |
2 kg |
3.6°/s |
650 g |
|
LRGS-955-20-2-C-E40 |
±1° (총 2°) |
20 N 액추에이터 정지 힘 |
2 kg |
2.4°/s |
650 g |
공통 플랫폼 사양
|
사양 |
가족 구성 |
|
인코더 해상도 |
0.2 초각 |
|
위치 결정 반복성 |
±0.2 초각 |
|
본체 재질 |
알루미늄 |
|
권장 컨트롤러 |
PMSD401 |
|
무대 케이블 |
CKS-20, 2 m; 포함 수량은 추후 확정 예정 |
Piezo LEGS® 정밀 스테이지의 응용 분야
광학 정렬
광학 부품의 정밀한 정렬을 위한 소형 다축 위치 결정 장치.

고급 현미경 기술
자동화된 시료 스캐닝 및 대물렌즈 위치 조정을 위한 저프로파일 방식의 반복 정밀 동작.

정밀 레이저 위치 결정
시료 및 부품에 레이저 에너지를 정확히 조사하기 위한 정밀한 다축 위치 결정.

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