LEGS 40N 스테이지 마운트용 선형 피에조 액추에이터

스테이지 장착용 40N 진공 호환 선형 피에조 액추에이터

선형 스테이지 마운트용 모터
다이렉트 드라이브 - 백래시 없음
나노미터 해상도
홀드 위치에서 전력 소모 없음
신속한 응답 및 고속 동역학
진공 환경과 호환 가능

피에조 LEGS® LS40 피에조 모터

피에조 LEGS LS40 리니어 모터는 다양한 OEM 애플리케이션에 사용하기 위해 설계되었습니다. 스테이지 장착 시 통합 용이성에 중점을 두어 설계되었습니다. 매우 높은 속도 동역학 및 나노미터 단위 해상도로 인해 수많은 애플리케이션에 이상적입니다.

LEGS 기술은 탁월한 정밀도로 특징지어집니다. 컴팩트한 설계와 빠른 응답 시간, 그리고 긴 수명 또한 장점입니다. 나노미터 단위의 분해능과 결합된 이 기술은 매우 독보적입니다.

이 모터는 이동 및 정지 애플리케이션이나 리니어 스테이지 유닛의 자동 조정 작업에 이상적입니다. 모터가 정지 위치에 있을 때는 전력을 전혀 소비하지 않습니다. 구동 기술은 직접 구동 방식이므로 선형 운동을 생성하기 위해 기어나 리드 스크류가 필요하지 않습니다. 이는 모터에 기계적 유격이나 백래시가 없음을 의미합니다. 피에조 LEGS LS40 리니어 모터는 진공 호환이 가능합니다.

사양 Piezo LEGS® LS40 (예비)

유형	진공	단위
최대 스트로크 설치 의존성	90 mm	음
최대 속도 운전자에 따라 다름	12	mm/s
최저 속도 운전자에 따라 다름	1	nm/s
최소한의 점진적 움직임	0.5	음
최대 작동 주파수	3	kHz
스톨 포스	40	N
유지력	>40	N
진공	네	^{10-7 토르}
비자성	네
작동 전압	42-48	V
전력 소비량	20	mW/Hz
기계적 치수 (가로 x 높이 x 깊이)	32 x 16.8 x 21	음
무게	70	그램
모터 하우징의 재질	스테인리스강
작동 온도	-20 ~ +70	℃
보관 온도	-50 ~ +85	℃