Piezo LEGS® 测角精密平台
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以70.5毫米或95.5毫米的虚拟旋转中心为轴,倾斜角小于1角秒。
70.5 / 95.5 毫米
中心高度
0.2角秒
编码器分辨率
±1°
角位移
一款专为实现稳定、可重复定位而设计的精密平台
角测量系列产品可在定义的虚拟中心周围提供±1°的倾斜测量。两种型号均具备0.2角秒的分辨率;客户可根据仪器几何结构,选择70.5毫米或95.5毫米的旋转中心高度。

主要优势
- 70.5 或 95.5 毫米 旋转中心高度
- ±1° 角行程
- 0.2角秒的分辨率
- ±0.2 角秒的重复性
- 最大速度为 2.4 或 3.6°/s
- 2千克承重能力
该阶段所处的位置
角测量系列产品使用一个登录页面,提供两种虚拟旋转中心高度。客户可选择旋转中心高度为70.5毫米或95.5毫米的型号,使其与仪器中的光轴、样品点或测量点最吻合。
为何选择 Piezo LEGS® 直驱技术
与简单的基座安装式枢轴相比,定义好的虚拟旋转中心可在目标点实现角度对准,同时减少不必要的平移。Piezo LEGS® 直接驱动技术避免了齿轮间隙,而光学尺则为闭环倾斜校正提供了 0.2 角秒的分辨率。
微小的动作,巨大的影响。
当精度决定性能时,每一个动作都至关重要。Piezo LEGS® 技术能够实现直接、可控的运动,且无需传统传动机构带来的复杂性。
精度
0.2角秒的分辨率,可满足高要求的倾斜对准需求。
稳定性
在无需电机持续供电的情况下保持微调倾斜角度。
几何学
两个用于积分的虚拟旋转中心高度。
致力于推动创新发展。
从先进光学设备到分析仪器,精密运动技术能够提升系统的性能。
ALIGN
设置光轴和光路元件。
TILT
东方镜子、水晶和样品。
MEASURE
支持衍射和角度测量。
HOLD
在目标点处保持小于1角秒的倾角。
一个大家庭。每个动作都精准无误。
典型应用
- 光束线与光轴对准
- 镜面、棱镜和晶体取向
- 探测器和样品倾斜角度调节
- 衍射和光谱学仪器
- 精密角度测量
这能实现什么
- 以位于载物台表面上方70.5 mm处的虚拟中心为轴,旋转该光学元件。
- 在不引入与简单枢轴机构相关的平移的情况下,对准晶体、探测器或样品。
- 在光学、X射线或分析仪器中进行可重复的微小倾斜校正。
- 将光学元件绕位于载物台表面上方95.5毫米处的虚拟中心旋转。
找到适合你的那款。
若需70.5毫米旋转中心高度且最高转速为3.6°/s,请选择LRGS-705-20-2-C-E40;若需95.5毫米旋转中心高度且最高转速为2.4°/s,请选择LRGS-955-20-2-C-E40。两者的角行程、分辨率、重复定位精度和承载能力均相同。
技术规格
|
型号 |
运动范围 |
失速力 |
加载 |
最高速度 |
重量 |
|
LRGS-705-20-2-C-E40 |
±1°(总计2°) |
20 N 执行器失速力 |
2 公斤 |
3.6°/s简体中文(大陆) |
650 g |
|
LRGS-955-20-2-C-E40 |
±1°(总计2°) |
20 N 执行器失速力 |
2 公斤 |
2.4°/s(简体中文(大陆)) |
650 g |
共享平台规格
|
规格 |
系列规格 |
|
编码器分辨率 |
0.2角秒 |
|
定位重复性 |
±0.2 角秒 |
|
机身材质 |
铝 |
|
推荐控制器 |
PMSD401 |
|
舞台电缆 |
CKS-20,2 米;具体数量待定 |
Piezo LEGS® 精密平台的应用
光学对准
紧凑型多轴定位系统,用于光学元件的精确对准。

先进显微镜技术
低轮廓、可重复的运动,用于自动样品扫描和物镜定位。

高精度激光定位
精确的多轴定位,用于将激光能量导向样品和组件。

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