450N、真空対応リニアアクチュエーター

Piezo LEGS® LTC450は、20 mmのストロークで450 Nの負荷容量を持ち、ナノメートル単位の分解能を実現します。

Acuvi Piezo LEGS リニア 450N ピエゾモーター

半導体産業向けサブナノメートル精度

  • 真空対応
  • 推力450 N
  • サブナノメートルレベルまでの解像度
  • 20mmストローク
  • 自動ロック
  • バックラッシュなし

真のダイレクトリニア駆動

この駆動技術はダイレクト方式を採用しており、直線運動を生み出すためにギアやリードスクリューを必要としません。モーターはマイクロステッピングにより駆動し、1ステップの波形をナノメートル単位の増分に分割します。速度範囲は毎秒数ナノメートルから数ミリメートルまでであり、駆動モードを変更することなく、全動的範囲にわたってシームレスに制御可能です。

ツイン・コンセプトの採用により、コンパクトな筐体ながら、本製品では450Nという高い失速推力を実現しています。これにより、ボールベアリングを必要としない、より堅牢な設計が可能となりました。

バックラッシュのないダイレクトドライブで、サブナノメートル範囲でマイクロステップが可能です。真空環境用に設計されています。

設計構造自体が備える安全機能により、電源OFF時でも450ニュートン以上の強力な保持力(セルフロック)を発揮します。

仕様 Piezo LEGS® LTC450 ヘビーデューティリニアアクチュエーター

種類真空 (B)単位
最大ストローク20うーん
最高速度
ドライバーに依存
0.2mm/s
最低速度
運転者による
1μm
失速推力450 N
保持推力>450N
真空はい10-7 torr
非磁性いいえ
動作電圧42-49V
消費電力300mW/Hz
外形寸法(幅×高さ×奥行き)
ガイドおよびエンコーダ付き
N/Aうーん
外形寸法(幅×高さ×奥行き)
ガイドおよびエンコーダを除く
98 x 50 x 50うーん
重量
50 mmの駆動ロッド付き
1060グラム
モーターハウジングの材質ステンレス鋼
動作温度
推奨
+10〜+70 
コネクタモーターケーブルはJST O5SR-3Sで半田付け。
コネクタエンコーダ
解像度モーター
<1nm
内蔵エンコーダいいえ
エンコーダ分解能N/Aμm

主要寸法 LTC450

モーター性能 LTC450

Rhomb波形(実線)とDelta波形(点線)によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ(すなわち波形1サイクル)したときのドライブロッドの平均移動距離。

注:標準偏差σは0.5μmを考慮する必要がある。
標準的な値は20℃での値である。

ストローク範囲

1アダプタあたりのストローク(mm)
ドライブロッド長(mm)

0-20

固定

無負荷時モーター回転数

波形
最大周波数 (Hz)
速度範囲 (mm/s)
Delta
50
0-0.15

Rhomb

0-0.2
左側がコントローラーPMD401、右側がPMD301

モーターの制御

当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。

また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。