带通孔的Piezo LEGS® XY精密平台
动议，已提交。
集成了双轴定位功能，配备光学定位系统和两种力控选项。
16 × 16 毫米
X-Y 方向的移动
6 N / 20 N
各轴上的力
40 纳米
编码器分辨率
一款专为实现稳定、可重复定位而设计的精密平台
XY系列将两个闭环轴与中央光学通孔相结合。两种型号均提供X轴±8毫米和Y轴±8毫米的行程；客户可选择每轴6牛顿或20牛顿的堵转力。
主要优势
- X ±8 毫米和 Y ±8 毫米
- 每轴6 N或20 N的失速力
- 每轴40纳米编码器分辨率
- 中央光学孔径
- 2千克承重能力
- 双轴 PMSD402 控制
微小的动作，巨大的影响。
当精度决定性能时，每一个动作都至关重要。Piezo LEGS® 技术能够实现直接、可控的运动，且无需传统传动机构带来的复杂性。
精度
40 纳米的分辨率，满足高精度定位的需求。
稳定性
在电机不持续供电的情况下保持X-Y位置。
简约
带中央开口的集成双轴平台。
致力于推动创新发展。
从先进光学技术到分析仪器，精密运动技术使系统性能更上一层楼。
ALIGN
将光学元件、晶圆和传感器沿X轴和Y轴定位。
职位
在移动标本的同时保持光学通透性。
地图
沿两个轴扫描表面和探测器响应。
HOLD
在较低的静态加热条件下保持所选的X-Y位置。
一个舞台。每个动作都精准无误。
典型应用
- 显微镜与标本定位
- 带载物台穿透式通道的光学成像
- 晶圆、传感器和探测器的对准
- 精密测绘与计量学
- 激光与光子学对准
这能实现什么
- 放置样品时，应确保光路通过载物台孔洞时无任何阻挡。
- 利用可重复的闭环运动，绘制表面或传感器响应的二维坐标图。
- 无需堆叠独立的单轴舞台，即可沿X轴和Y轴对准光学或光子学元件。
找到适合你的那款。
对于典型的试样、传感器和光学元件定位，每个轴选择 6 N。当电缆力、工艺载荷或动态要求需要额外的驱动力储备时，每个轴选择 20 N。请确认孔径、有效载荷重心和施加的力矩与最终的机械布置相兼容。
技术规格
|
型号 |
运动范围 |
失速力 |
加载 |
最高速度 |
重量 |
|
LLS-XY-06-16-C-E40 |
X ±8 毫米；Y ±8 毫米 |
每轴6 N |
2 公斤 |
5 毫米/秒 |
2.5 千克 |
|
LLS-XY-20-16-C-E40 |
X ±8 毫米；Y ±8 毫米 |
每轴 20 N |
2 公斤 |
5 毫米/秒 |
2.5 千克 |
共享平台规格
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规格 |
系列规格 |
|
编码器分辨率 |
40 纳米（X/Y） |
|
定位重复性 |
±40 纳米（X/Y） |
|
机身材质 |
铝 |
|
推荐控制器 |
PMSD402 |
|
舞台电缆 |
CKS-20，2 米；具体数量待定 |
Piezo LEGS® 精密平台的应用
半导体设备
高分辨率聚焦，发热量极低，且具有出色的静态稳定性。
尺寸检测与校准
可靠、可重复的运动，用于测量验证和设备校准。
光学对准
紧凑型多轴定位系统，用于光学元件的精确对准。
先进显微镜技术
低轮廓、可重复的运动，用于自动样品扫描和物镜定位。
高精度激光定位
精确的多轴定位，用于将激光能量导向样品和组件。
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