Piezo LEGS® X轴精密定位台
动议，已提交。
专为每微米都至关重要的应用而设计的精密定位技术。
8 / 16 / 25 毫米
出行方式
6 N / 20 N
失速力类
40 纳米
编码器分辨率
一款专为实现稳定、可重复定位而设计的精密平台
X-axis 系列提供三种行程等级的闭环单轴运动解决方案。该系列的五款型号均具备 40 nm 的编码器分辨率、±40 nm 的重复定位精度以及直接驱动式 Piezo LEGS® 定位功能。客户需先选择行程，然后选择可用的 6 N 或 20 N 力等级。
主要优势
- 总行程为 8、16 或 25 毫米
- 6 N 或 20 N 失速力等级
- 40 纳米编码器分辨率
- ±40 纳米的可重复性
- 最大承重3千克
- 在无需电机持续供电的情况下仍能保持稳定
微小的动作，巨大的影响。
当精度决定性能时，每一个动作都至关重要。Piezo LEGS® 技术能够实现直接、可控的运动，且无需传统传动机构带来的复杂性。
精度
40 纳米的分辨率，满足高精度定位的需求。
稳定性
在没有电机持续供电的情况下保持位置。
简约
直驱运动，机械部件更少。
致力于推动创新发展。
从先进光学设备到分析仪器，精密运动技术能够提升系统的性能。
ALIGN
Ootics，值得信赖的激光器和传感器。
职位
将透镜、探测器、光纤和样品精确放置在所需位置。
SCAN
平稳且连续地进行成像、检测和测量
HOLD
以稳定的方式保持位置，同时将功耗降至最低。
一个舞台。每个动作都精准无误。
找到适合你的那款。
旅行
8 / 16 / 25 毫米
失速力
6 N / 20 N
加载
最多 2 公斤
决议
40 纳米
速度
最高5毫米/秒
技术规格
|
型号 |
运动范围 |
失速力 |
加载 |
最高速度 |
重量 |
|
LLS-X-06-8-C-E40 |
±4 毫米（总计 8 毫米） |
6 N |
1 千克 |
5 毫米/秒 |
250 g |
|
LLS-X-06-16-C-E40 |
±8 毫米（总计 16 毫米） |
6 N |
2 公斤 |
5 毫米/秒 |
650 g |
|
LLS-X-20-16-C-E40 |
±8 毫米（总计 16 毫米） |
20 N |
2 公斤 |
5 毫米/秒 |
650 g |
|
LLS-X-06-25-C-E40 |
±12.5 毫米（总计 25 毫米） |
6 N |
3 公斤 |
5 毫米/秒 |
1.0 千克 |
|
LLS-X-20-25-C-E40 |
±12.5 毫米（总计 25 毫米） |
20 N |
3 公斤 |
5 毫米/秒 |
1.0 千克 |
共享平台规格
|
规格 |
系列规格 |
|
编码器分辨率 |
40 纳米 |
|
定位重复性 |
±40 纳米 |
|
机身材质 |
铝 |
|
推荐控制器 |
PMSD401 |
|
舞台电缆 |
CKS-20，2 米；具体数量待定 |
Piezo LEGS® 精密平台的应用
半导体设备
高分辨率聚焦，发热量极低，且具有出色的静态稳定性。
尺寸检测与校准
可靠、可重复的运动，用于测量验证和设备校准。
光学对准
紧凑型多轴定位系统，用于光学元件的精确对准。
高精度激光定位
精确的多轴定位，用于将激光能量导向样品和组件。
准备好推进您的申请了吗？
请填写下面的表格——我们将帮助您找到合适的舞台