Piezo LEGS® Z轴精密平台
动议，已提交。
两种适用于行程控制或负载控制应用的垂直定位机构。
3 / 12 毫米
垂直行程
0.5 / 5 公斤
加载选项
40 纳米
编码器分辨率
一款专为实现稳定、可重复定位而设计的精密平台
Z轴系列包括一款12毫米的直接驱动垂直平台和一款紧凑型3毫米水平升降平台。具体选择应根据机构、行程、安装空间和负载要求来决定。
主要优势
- 垂直和水平升降机构
- 总行程为 12 毫米或 3 毫米
- 0.5 公斤或 5 公斤的承重能力
- 40 纳米编码器分辨率
- 20 N 执行器失速力
- 稳定的固定位置保持
该阶段所处的位置
Z轴系列将两种不同的垂直机构整合到一个客户选择页面中。垂直Z型机型提供12毫米的行程，用于对焦、高度和工作距离的调节。水平升降型机型将水平驱动转换为3毫米的紧凑升降行程，并支持更高的额定载荷。
为何选择 Piezo LEGS® 直驱技术
这两种型号均采用集成式编码器反馈和Piezo LEGS®定位功能，但它们解决的机械问题各不相同。垂直型号侧重于行程；水平升降型号则侧重于安装紧凑性和承载能力。两种型号均可在无需电机持续供电的情况下保持选定位置。
微小的动作，巨大的影响。
当精度决定性能时，每一个动作都至关重要。Piezo LEGS® 技术能够实现直接、可控的运动，且无需传统传动机构带来的复杂性。
精度
40 纳米的分辨率，可实现精确的高度调节。
稳定性
在选定高度处实现机械稳定的固定。
选择
选择行程主导型或高负载型升降机结构。
致力于推动创新发展。
从先进光学技术到分析仪器，精密运动技术使系统性能更上一层楼。
焦点
调整物镜、相机和探测器。
LIFT
精确地调整灯具和光学组件的位置。
级别
微调样品或传感器的高度。
HOLD
在无需电机持续供电的情况下保持工作距离。
一个舞台。每个动作都精准无误。
典型应用
- 物镜与相机对焦
- 传感器或样品高度调节
- 光学工作台 Z 轴定位
- 分析和检测设备
- 自动校准系统
- 紧凑型光学高度调节装置
- 高负载精密升降装置
- 仪器校准
- 试样和夹具的调平
- 检测与计量系统
这能实现什么
- 将物镜或探测器调整至预定的对焦位置，并在不依赖电机持续供电的情况下保持该位置。
- 在检查或表面测量过程中，请控制样品的高度。
- 实现光学或分析仪器中工作距离的自动调节。
- 在紧凑的机械结构内升降一个相对较重的光学组件。
- 在校准过程中微调夹具或传感器的高度。
- 在传统垂直执行器高度过高的情况下，集成闭环 Z 轴调整功能。
找到适合你的选择
当需要 12 mm 行程且负载在 0.5 kg 以内时，请选择 LLS-ZV-20-12-C-E40。当 3 mm 行程已足够、垂直安装空间受限且需要最大 5 kg 的负载能力时，请选择 LLS-ZH-20-3-C-E40。请确认安装方向、重心及力矩。
技术规格
|
型号 |
运动范围 |
失速力 |
加载 |
最高速度 |
重量 |
|
LLS-ZV-20-12-C-E40 |
±6 毫米（总计 12 毫米） |
20 N |
0.5 公斤 |
5 毫米/秒 |
900 g |
|
LLS-ZH-20-3-C-E40 |
±1.5 毫米（总计 3 毫米） |
20 N |
5 公斤 |
1 毫米/秒 |
1.1 千克 |
共享平台规格
|
规格 |
系列规格 |
|
编码器分辨率 |
40 纳米 |
|
定位重复性 |
±40 纳米 |
|
机身材质 |
铝 |
|
推荐控制器 |
PMSD401 |
|
舞台电缆 |
CKS-20，2 米；具体数量待定 |
Piezo LEGS® 精密平台的应用
半导体设备
高分辨率聚焦，发热量极低，且具有出色的静态稳定性。
尺寸检测与校准
可靠、可重复的运动，用于测量验证和设备校准。
重载荷的精密垂直定位
具有高承载能力和稳定夹持能力的纳米级垂直定位。
先进显微镜技术
低轮廓、可重复的运动，用于自动样品扫描和物镜定位。
高精度激光定位
精确的多轴定位，用于将激光能量导向样品和组件。
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