光学对准

紧凑型多轴定位系统,用于光学元件的精确对准。

PiezoMotor 精密平台可实现透镜、反射镜、探测器、激光器、传感器及其他光学元件的精确对准。

紧凑型 Piezo LEGS® 电机在力矩输出强劲的同时,其突出部分并未显著超出平台本体。这使得多个运动轴能够集成在有限的安装空间内。线性运动平台和角运动平台可组合使用,在同一系统内实现位置、方向及旋转中心对齐的控制。

选择的主要原因

  • 紧凑型多轴集成
  • 小电机产生的大扭矩
  • 精确的线性与角度调节
  • 无需电机持续供电即可实现稳定定位
  • 降低了机械复杂性

X轴精密舞台

专为每微米都至关重要的应用而设计的精密定位技术。

带光阑的XY精密平台

集成了双轴定位功能,配备光学定位系统和两种力控选项。

旋转精密平台

无需齿轮传动即可实现精细的有限角度旋转定位。

角测量精密平台

以70.5毫米或95.5毫米的虚拟旋转中心为轴,倾斜角小于1角秒。