光学調整
光学部品の精密な位置合わせのためのコンパクトな多軸位置決め装置。

PiezoMotor 高精度ステージにより、レンズ、ミラー、検出器、レーザー、センサー、その他の光学部品の正確な位置合わせが可能になります。
コンパクトなPiezo LEGS® モーターは、ステージ本体から大きくはみ出すことなく、高い推力 を実現します。これにより、限られた設置スペース内に複数の動作軸を統合することが可能です。直線運動ステージと角運動ステージを組み合わせることで、1つのシステム内で位置、向き、および回転中心の位置合わせを制御することができます。
選定の主な理由
- コンパクトな多軸統合
- 小型モーターによる高推力
- 正確な直線および角度調整
- モーターへの連続的な電力供給がなくても安定した位置決めが可能
- 機械的な複雑さの低減
X軸高精度ステージ
1ミクロン単位の精度が求められる用途向けに設計された高精度位置決め技術。

開口部付きXY精密ステージ
光学アクセス機能と2つの推力 オプションを備えた、統合型2軸位置決め機能。

ロータリー 精密ステージ
ギア伝動機構を用いない、ロータリー の微細な限定角度位置決め。

ゴニオメトリック精密ステージ
70.5mm または 95.5mm の仮想回転中心を軸とする、1秒角未満の傾き。

