40N真空対応非磁性リニアアクチュエーター
Piezo LEGS® LT40リニアピエゾアクチュエーターは、磁気環境、真空環境、または常温常圧（NTP）環境において、高荷重の昇降（ヘビーリフティング）と精密な位置決めを主眼とするOEM用途向けに設計されています。
ヘビーリフター 40N推力。サブナノメートル分解能。
- 真空対応
- 非磁性
- サブナノメートルレベルまでの解像度
- 40 N推力
- 自動ロック
- バックラッシュなし
真のダイレクトリニア駆動
採用された駆動技術はダイレクト方式であり、直線運動を生成するために歯車やリードスクリューを必要としません。モーターはマイクロステッピングにより動作し、完全な波形ステップをサブナノメートル単位の増分に分割します。速度範囲はナノメートル毎秒からミリメートル毎秒まで及び、ダイナミックレンジ全域に渡ってシームレスに制御可能です。 さらに、コンパクトなボディに関わらず高出力であり 、失速推力４０N を重量わずか61グラムで実現しています。
バックラッシュがなく、保持時に電力を消費しません。
3つのバージョンが用意されています：一般環境向け標準ステンレス鋼（A）、非磁性バージョン（C）、非磁性真空バージョン（D）。
各バージョンはM1またはM2マウントで提供されます。
半導体製造装置において、ウエハーの切断・研磨、リソグラフィー、イオン注入、ウエハー検査・計測に最適です。
Piezo LEGS® LT40は 医療技術産業において、投薬システム、手術器具、医療用ロボット、診断・画像装置、医療材料ハンドリングなどの分野で使用されています。
仕様 Piezo LEGS® LT40
| 種類 | ノーマル（A） | 非磁性（C） | 非磁性真空 (D) | 単位 |
| 最大ストローク | 67 | うーん | ||
| 最高速度 ドライバーに依存 | 12 | mm/s | ||
| 最低速度 運転者による | 1 | nm/s | ||
| 失速推力 | 40 | N | ||
| 保持推力 | >40 | N | ||
| 真空 | いいえ | はい | ||
| 非磁性 | いいえ | はい | ||
| 動作電圧 | 42-48 | V | ||
| 消費電力 | 20 | mW/Hz | ||
| 外形寸法（幅×高さ×奥行き） ガイドおよびエンコーダ付き | N/A | うーん | ||
| 外形寸法（幅×高さ×奥行き） ガイドおよびエンコーダを除く | 32.1 x 24.2 x 23.1 | うーん | ||
| 重量 50 mmの駆動ロッド付き | 61 | グラム | ||
| モーターハウジングの材質 | ステンレス鋼 | アルキャップ／非磁性 | ||
| 使用温度 推奨温度 | -20～+70 | ℃ | ||
| コネクタモーター | 2 x JST BM05B-SRSS-TB | ハンダ付けケーブル 2 x JST O5SR-3S | ||
| コネクタエンコーダ | N/A | |||
| 解像度モーター | <1 | nm | ||
| 内蔵エンコーダ | いいえ | |||
| エンコーダ分解能 | N/A | nm | ||
主要寸法 Piezo LEGS® LT40
モーター性能 LT40
Rhomb波形（実線）とDelta波形（点線）によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ（すなわち波形1サイクル）したときのドライブロッドの平均移動距離。
注：標準偏差σは0.5μmを考慮する必要がある。
標準的な値は20℃での値である。
ストローク範囲
|
1アダプタあたりのストローク(mm)
|
ドライブロッド長(mm)
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0-6 |
40
|
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0-16 |
50
|
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0-26 |
60
|
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0-67 |
100.8
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20 ºCにおけるモーター速度
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波形
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最大周波数 (Hz)
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速度範囲 (mm/s)
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Delta
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1500
|
0-8
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Rhomb |
1500
|
0-12
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モーターの制御
当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。
また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。
スターターキット
当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。
各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。
LT40の構成と見積もり
