LEGS 40N リニアピエゾアクチュエーター(ステージマウント用)

Acuvi LEGS® LS40 ステージマウント用ピエゾモーター

40N 真空対応リニアピエゾアクチュエーター(ステージマウント用)

  • リニアステージマウント用モーター
  • ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
  • ナノメートル分解能
  • 静止保持時の電力消費なし
  • 迅速な応答と高速ダイナミクス
  • 真空対応

Piezo LEGS® LS40 ピエゾモーター

 Piezo LEGS リニアモーターは、幅広いOEM用途を想定しています。ステージマウントへの組み込み容易性を設計の重点としています。極めて高速な動特性とナノメートル単位の分解能により、数多くの用途に最適です。

LEGS技術は卓越した精度が特徴です。コンパクト設計と高速応答性、長寿命も他の利点です。ナノメートル単位の分解能と組み合わせることで、この技術は非常にユニークなものとなっています。

このモーターは「移動と保持」を繰り返す用途や、リニアステージユニットの自動調整に最適です。保持状態では電力を一切消費しません。駆動方式はダイレクトドライブであり、直線運動を生み出すためのギアやリードスクリューを必要としません。そのため、モーターには機械的な遊びやバックラッシュが全く存在しません。また、Piezo LEGS® LS40リニアモーターは真空環境にも対応しています。

仕様 Piezo LEGS® LS40(暫定)

種類真空単位
最大ストローク
マウント依存性
90mmうーん
最高速度
ドライバーに依存
12 mm/s
最低速度
運転者による
1nm/s
ごくわずかな動き0.5nm
最大動作周波数3kHz
失速推力40N
保持推力>40N
真空はい10-7 torr
非磁性はい
動作電圧42-48V
消費電力20 mW/Hz
外形寸法(幅×高さ×奥行き)32 × 16.8 × 21うーん
重量70グラム
モーターハウジングの材質ステンレス鋼
動作温度-20~+70
保管温度
-50~+85

Piezo LEGS® LS40 の寸法

Acuvi 高精度アクチュエータ用コントローラ
左側がコントローラーPMD401、右側がPMD301

モーターの制御

当社のモーター・コントロール・ユニットには、OEM機器への組み込み用だけでなく、実験室用のコントローラーやアンプなど、さまざまなバージョンがあります。これらのコントローラーはコンパクトリニアアクチュエーターと互換性があり、最適な性能を発揮します。

また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。

モーター始動キット

当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。

各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。

ピエゾモーター用スターターキット