LEGS 40N リニアピエゾアクチュエーター(ステージマウント用)

40N 真空対応リニアピエゾアクチュエーター(ステージマウント用)
- リニアステージマウント用モーター
- ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
- ナノメートル分解能
- 静止保持時の電力消費なし
- 迅速な応答と高速ダイナミクス
- 真空対応
Piezo LEGS® LS40 ピエゾモーター
Piezo LEGS リニアモーターは、幅広いOEM用途を想定しています。ステージマウントへの組み込み容易性を設計の重点としています。極めて高速な動特性とナノメートル単位の分解能により、数多くの用途に最適です。
LEGS技術は卓越した精度が特徴です。コンパクト設計と高速応答性、長寿命も他の利点です。ナノメートル単位の分解能と組み合わせることで、この技術は非常にユニークなものとなっています。
このモーターは「移動と保持」を繰り返す用途や、リニアステージユニットの自動調整に最適です。保持状態では電力を一切消費しません。駆動方式はダイレクトドライブであり、直線運動を生み出すためのギアやリードスクリューを必要としません。そのため、モーターには機械的な遊びやバックラッシュが全く存在しません。また、Piezo LEGS® LS40リニアモーターは真空環境にも対応しています。
仕様 Piezo LEGS® LS40(暫定)
| 種類 | 真空 | 単位 |
| 最大ストローク マウント依存性 | 90mm | うーん |
| 最高速度 ドライバーに依存 | 12 | mm/s |
| 最低速度 運転者による | 1 | nm/s |
| ごくわずかな動き | 0.5 | nm |
| 最大動作周波数 | 3 | kHz |
| 失速推力 | 40 | N |
| 保持推力 | >40 | N |
| 真空 | はい | 10-7 torr |
| 非磁性 | はい | |
| 動作電圧 | 42-48 | V |
| 消費電力 | 20 | mW/Hz |
| 外形寸法(幅×高さ×奥行き) | 32 × 16.8 × 21 | うーん |
| 重量 | 70 | グラム |
| モーターハウジングの材質 | ステンレス鋼 | |
| 動作温度 | -20~+70 | ℃ |
| 保管温度 | -50~+85 | ℃ |
Piezo LEGS® LS40 の寸法

モーターの制御
当社のモーター・コントロール・ユニットには、OEM機器への組み込み用だけでなく、実験室用のコントローラーやアンプなど、さまざまなバージョンがあります。これらのコントローラーはコンパクトリニアアクチュエーターと互換性があり、最適な性能を発揮します。
また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。
モーター始動キット
当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。
各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。







