尺寸检测与校准

可靠、可重复的运动,用于测量验证和设备校准。

PiezoMotor 精密平台可提供精确控制的运动,用于校准尺寸检测系统,并验证测量设备是否运行正常。

闭环编码器反馈可确保可靠的定位重复性,从而能够生成已知的位移,并将其与检测设备产生的测量结果进行比较。这使得这些平台适用于校准、验证和测量开发系统,在这些系统中,精度和重复性比速度更为重要。

选择的主要原因

  • 可靠的闭环定位
  • 高双向重复性
  • 受控校准运动
  • 稳定的点对点定位
  • 紧凑型系统集成

X轴精密舞台

专为每微米都至关重要的应用而设计的精密定位技术。

带光阑的XY精密平台

集成了双轴定位功能,配备光学定位系统和两种力控选项。

Z轴精密平台

两种适用于行程控制或负载控制应用的垂直定位机构。