치수 검사 및 교정
측정 검증 및 장비 교정을 위한 안정적이고 재현성 높은 동작.

PiezoMotor 정밀 스테이지는 치수 검사 시스템의 교정 및 측정 장비의 정상 작동 여부를 확인하기 위해 정밀하게 제어된 움직임을 제공할 수 있습니다.
폐루프 엔코더 피드백을 통해 신뢰할 수 있는 위치 결정 반복성을 확보함으로써, 알려진 움직임을 생성하여 검사 장비에서 산출된 측정값과 비교할 수 있습니다. 이로 인해 해당 스테이지는 속도보다 정확도와 반복성이 더 중요한 교정, 검증 및 측정 개발 시스템에 적합합니다.
선정된 주요 이유
- 신뢰할 수 있는 폐루프 위치 제어
- 높은 양방향 재현성
- 제어된 교정 이동
- 안정적인 지점 간 위치 지정
- 소형 시스템 통합
X축 정밀 스테이지
1마이크론 단위의 정밀도가 중요한 응용 분야를 위해 설계된 정밀 위치 결정 기술.

조리개가 장착된 XY 정밀 스테이지
광학식 접근 방식과 두 가지 힘 제어 옵션을 갖춘 통합형 2축 위치 결정 기능.

Z축 정밀 스테이지
이동 주도형 또는 하중 주도형 응용 분야를 위한 두 가지 수직 위치 결정 장치.

