寸法検査および校正

測定の検証や機器の校正に最適な、信頼性が高く再現性のある動作。

PiezoMotor 高精度ステージは、寸法検査システムの校正や、測定機器が正しく動作しているかを確認するための、精密に制御された動きを実現します。

閉ループ方式のエンコーダフィードバックにより、信頼性の高い位置決め再現性が実現され、所定の動作を生成して、検査装置による測定結果と比較することが可能になります。このため、これらのステージは、速度よりも精度と再現性が重視される校正、検証、および測定開発システムに適しています。

選定の主な理由

• 信頼性の高い閉ループ位置決め
• 高い双方向再現性
• 制御された校正運動
• 安定したポイント・トゥ・ポイントの位置決め
• コンパクトなシステム統合