高精度リニア6.5Nピエゾアクチュエーター
Piezo LEGS® ピエゾリニアアクチュエーター（エンコーダー内蔵・ガイド内蔵）は、狭小空間での精密位置決めを重視したOEM用途向けに設計されています。
推力6.5N、卓越したサイズ対推力比 、ナノレベル精度
- 6.5 N推力
- ナノメートル級の精度
- 高分解能光学式エンコーダー
- ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
- 静止保持時の電力消費なし
- 電源喪失時のセルフロック
- 素早いレスポンスと高速ダイナミクス
Piezo LEGS® リニアアクチュエータ
6.5Nのリニア・ダイレクトドライブ・ピエゾアクチュエーターは、重量わずか16gと非常にコンパクト。バックラッシュのない真のダイレクトドライブで、サブナノメートル領域でのマイクロステップが可能です。このコンパクトなリニアアクチュエーターは、内蔵エンコーダー（例：1.25 µmまたは80 nm）やガイドの有無が選択可能です。
LL06は、高分解能位置センサーを搭載し、さまざまな長さのドライブロッド（30、40、50、60、100.8 mm）をご用意しています。モーターは簡単に組み込むことができ、システムの簡素化と小型化を実現します。
保持力 6.5ニュートン 電源オフ時ロック安全機能。
モーターの制御には、さまざまなドライバーとコントローラーをご用意しています。
仕様Piezo LEGS®
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種類 |
ノーマル（A） |
単位 |
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最大ストローク
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74.1
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うーん
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最高速度
ドライバーに依存 |
20
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mm/s
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最低速度
運転者による |
1
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μm
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失速推力
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6.5
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N
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保持推力
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>6.5
|
N
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真空
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いいえ
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非磁性
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いいえ
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動作電圧
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42-49
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V
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消費電力
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5
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mW/Hz
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外形寸法（幅×高さ×奥行き）
ガイドおよびエンコーダ付き |
23.4 x 19.6 x 10.5
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うーん
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外形寸法（幅×高さ×奥行き）
ガイドおよびエンコーダを除く |
17 x 19.6 x 7
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うーん
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重量
50 mmの駆動ロッド付き |
16
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グラム
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モーターハウジングの材質
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ステンレス鋼
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動作温度
推奨 |
-20～+70
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℃
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コネクタモーター
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ヒロセDF52-5S-0.8H
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コネクタエンコーダ
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ヒロセDF52-6S-0.8H
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解像度モーター
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<1
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nm
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内蔵エンコーダ
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はい
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エンコーダ分解能
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1.25（エンコーダーE1、ガイドG1）
0.08（エンコーダーE2、ガイドG1）
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μm
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Piezo LEGS® の寸法
モーター性能 LL06
Rhomb波形（実線）とDelta波形（点線）によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ（すなわち波形1サイクル）したときのドライブロッドの平均移動距離。
注：0.5μmの標準偏差σを考慮する必要あり。代表的な値は20℃での値。
ストローク範囲 LL06
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1アダプタあたりのストローク(mm)
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ドライブロッド長(mm)
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0-3.1
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30（エンコーダーでは使用不可）
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0-13.1 |
40
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0-23.1 |
50
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0-33.1 |
60
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0-74.1 |
100.8
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20 ºCにおけるモーター速度
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波形
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最大周波数 (Hz)
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速度範囲 (mm/s)
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Delta
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3000
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0-15
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Rhomb |
0-24
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LL06 前後
- モーターハウジング｜2.ドライブロッド｜3.フロントアダプター｜4.ドライブロッド上のエンコーダースケール｜5.内蔵エンコーダ、1.25µm - 80 nm分解能｜6.ビルトインガイド
モーターの制御
当社のモーター・コントロール・ユニットには、OEM機器への組み込み用だけでなく、実験室用のコントローラーやアンプなど、さまざまなバージョンがあります。これらのコントローラーはコンパクトリニアアクチュエーターと互換性があり、最適な性能を発揮します。
また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。
スターターキット
当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。
各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。
LL06の構成とお見積り
