高精度リニア6.5Nピエゾアクチュエーター

Piezo LEGS® ピエゾリニアアクチュエーター（エンコーダー内蔵・ガイド内蔵）は、狭小空間での精密位置決めを重視したOEM用途向けに設計されています。

高精度リニアアクチュエータ、6.5N推力。エンコーダーとガイドを内蔵。 — Acuvi LEGS® LL06 （ガイド付き）

推力6.5N、卓越したサイズ対推力比、ナノレベル精度

6.5 N推力
ナノメートル級の精度
高分解能光学式エンコーダー
ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
静止保持時の電力消費なし
電源喪失時のセルフロック
素早いレスポンスと高速ダイナミクス

Piezo LEGS® リニアアクチュエータ

6.5Nのリニア・ダイレクトドライブ・ピエゾアクチュエーターは、重量わずか16gと非常にコンパクト。バックラッシュのない真のダイレクトドライブで、サブナノメートル領域でのマイクロステップが可能です。このコンパクトなリニアアクチュエーターは、内蔵エンコーダー（例：1.25 µmまたは80 nm）やガイドの有無が選択可能です。

LL06は、高分解能位置センサーを搭載し、さまざまな長さのドライブロッド（30、40、50、60、100.8 mm）をご用意しています。モーターは簡単に組み込むことができ、システムの簡素化と小型化を実現します。

保持力 6.5ニュートン電源オフ時ロック安全機能。

モーターの制御には、さまざまなドライバーとコントローラーをご用意しています。

仕様Piezo LEGS®

種類	標準
最大ストローク	74.1mm
速度範囲（菱形波形、無負荷、20℃）	0.1nm/s ～ 20mm/s（ドライバを確認してください）
ステップ長、フルステップ @ デルタ、無負荷、20℃	4.5 µm（図参照）
最高速度（ドライバーおよび波形に依存）	12時間で1歩分
最大動作周波数（ドライバに依存）	2.5 kHz
運動分解能	<1nm
失速推力	6.5 N
保持推力	>6.5 N
真空	いいえ
非磁性	いいえ
動作電圧	0～48 V（独自波形）
消費電力	5 mW/Hz
ガイドおよびエンコーダを含む機械的寸法（幅×高さ×奥行き）	23.4 × 19.6 × 10.5mm
ガイドおよびエンコーダを除く機械的寸法（幅×高さ×奥行き）	17 × 19.6 × 10.5mm
50mm ロッドを装着した状態の重量	16 g
モーターハウジングの材質	ステンレス鋼
動作温度（推奨）	-20～+70°C
保管温度	-20～+70°C
内蔵エンコーダ（30mm には非対応）	はい、任意です
エンコーダの分解能（エンコーダ E1）	1.25（エンコーダーE1、ガイドG1）
エンコーダの分解能（エンコーダ E2）	0.08 µm
コネクタモーター（モーター側）	ヒロセDF52-5S-0.8H
コネクタエンコーダ（モーター側）	ヒロセDF52-6S-0.8H
制御	オープンループまたはクローズドループ
耐用年数（km）	11km（半負荷、室温条件、600Hz）
目次	1回のフルストロークにつき最大2つ
最大加速度	800Hz/ms

データシート LL06

Piezo LEGS® の寸法

CAD図面（ステップ） LL06

モーター性能 LL06

Rhomb波形（実線）とDelta波形（点線）によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ（すなわち波形1サイクル）したときのドライブロッドの平均移動距離。

注：0.5μmの標準偏差σを考慮する必要あり。代表的な値は20℃での値。

LEGS LL06 リニアピエゾモーターのモーター性能 — LEGS LL06のモーター性能

ストローク範囲 LL06

1アダプタあたりのストローク(mm)	ドライブロッド長(mm)
0-3.1	30（エンコーダーでは使用不可）
0-13.1	40
0-23.1	50
0-33.1	60
0-74.1	100.8