高精度激光定位
精确的多轴定位，用于将激光能量导向样品和组件。
PiezoMotor 精密平台可组合成 XYZ 及角运动配置，以高精度定位样品、光学元件和激光束。
该解决方案特别适用于静态点对点定位，即系统移动至预定义坐标位置，并在辐照、测量或加工过程中保持稳定。因此，该方案无需具备高恒速性能；定位精度、重复性和静止稳定性才是主要要求。
选择的主要原因
- 精确的XYZ定位
- 精确的光学和角度对准
- 稳定的点对点运行
- 灵活的多轴配置
- 在无持续电机动力供应情况下的定位保持
X轴精密舞台
专为每微米都至关重要的应用而设计的精密定位技术。
带光阑的XY精密平台
集成了双轴定位功能，配备光学定位系统和两种力控选项。
Z轴精密平台
两种适用于行程控制或负载控制应用的垂直定位机构。
旋转精密平台
无需齿轮传动即可实现精细的有限角度旋转定位。
角测量精密平台
以70.5毫米或95.5毫米的虚拟旋转中心为轴，倾斜角小于1角秒。
