정밀 레이저 위치 결정
시료 및 부품에 레이저 에너지를 정확히 조사하기 위한 정밀한 다축 위치 결정.
PiezoMotor 정밀 스테이지는 XYZ 및 각도 운동 구성으로 조합하여 시료, 광학 부품 및 레이저 빔을 높은 정확도로 위치시킬 수 있습니다.
이 솔루션은 시스템이 정의된 좌표로 이동한 후, 조사, 측정 또는 가공 과정에서 안정적으로 정지 상태를 유지하는 정적 점대점 위치 결정에 특히 적합합니다. 따라서 높은 정속 주행 성능은 필요하지 않으며, 위치 결정 정확도, 반복성 및 정지 시 안정성이 주요 요구 사항입니다.
선정된 주요 이유
- 정밀한 XYZ 위치 결정
- 정밀한 광학적 및 각도 정렬
- 안정적인 지점 간 작동
- 유연한 다축 구성
- 모터 전원이 지속적으로 공급되지 않는 상태에서도 위치 유지
X축 정밀 스테이지
1마이크론 단위의 정밀도가 중요한 응용 분야를 위해 설계된 정밀 위치 결정 기술.
조리개가 장착된 XY 정밀 스테이지
광학식 접근 방식과 두 가지 힘 제어 옵션을 갖춘 통합형 2축 위치 결정 기능.
Z축 정밀 스테이지
이동 주도형 또는 하중 주도형 응용 분야를 위한 두 가지 수직 위치 결정 장치.
로터리 정밀 스테이지
기어 변속 장치 없이도 정밀한 제한 각도 회전 위치 조정이 가능합니다.
각도 측정용 정밀 스테이지
70.5 mm 또는 95.5 mm 가상 회전 중심을 기준으로 한 아크초 미만의 기울기.
