高精度レーザー位置決め

試料や部品にレーザーエネルギーを照射するための、高精度な多軸位置決め。

PiezoMotor 高精度ステージは、XYZ方向および角度運動の構成で組み合わせることで、試料、光学部品、およびレーザービームを高精度に位置決めすることができます。

このソリューションは、システムが所定の座標まで移動し、照射、測定、または加工中に安定した状態を維持する、静的な点対点位置決めに特に適しています。したがって、高い定速性能は求められず、位置決め精度、再現性、および静止時の安定性が主な要件となります。

選定の主な理由

• 正確なXYZ位置決め
• 正確な光学・角度位置合わせ
• 安定したポイント・ツー・ポイント動作
• 柔軟な多軸構成
• モーターからの連続的な動力供給がない状態での位置保持