半导体设备

高分辨率聚焦，发热量极低，且具有出色的静态稳定性。

PiezoMotor 精密平台可确保半导体制造和计量设备中使用的设备、镜头及检测组件实现精确对焦和定位。

粗调行程相对较长，加之精定位分辨率高，使这些载物台非常适合要求苛刻的对焦应用。电机发热量极小，有助于保护对温度敏感的工艺；而稳定的定位保持功能则满足了需要长时间保持位置不变的应用需求。

选择的主要原因

• 高分辨率的粗定位和精定位
• 电机产生的热量极小
• 出色的静态稳定性
• 紧凑型集成
• 无需持续高速运动