半導体製造装置

発熱を最小限に抑え、優れた定置安定性を備えた高解像度フォーカシング。

PiezoMotor 高精度ステージは、半導体製造および計測機器で使用されるデバイス、レンズ、検査用コンポーネントの正確な焦点合わせと位置決めをサポートします。

粗調整用の比較的長い移動量と、微調整用の高分解能を兼ね備えているため、このステージは要求の厳しいフォーカシング用途に適しています。モーターの発熱が最小限に抑えられているため、熱に敏感なプロセスを保護するのに役立ち、また、安定した位置保持性能により、長時間にわたり位置を一定に保つ必要がある用途にも対応しています。

選定の主な理由

• 高精度な粗位置決めおよび微位置決め
• モーターによる発熱が最小限
• 優れた静止安定性
• コンパクトな統合
• 連続的な高速移動は不要です