반도체 장비

발열을 최소화하면서도 고해상도 초점 조절이 가능하며, 정적 안정성이 뛰어납니다.

PiezoMotor 정밀 스테이지는 반도체 제조 및 계측 장비에 사용되는 장치, 렌즈 및 검사 부품의 정확한 초점 조절과 위치 조정을 지원합니다.

거친 조정을 위한 비교적 긴 이동 거리와 정밀 위치 조정을 위한 높은 분해능이 결합되어 있어, 이 스테이지는 까다로운 초점 조정 작업에 적합합니다. 모터에서 발생하는 열이 최소화되어 열에 민감한 공정을 보호할 수 있으며, 안정적인 위치 유지 기능 덕분에 장시간 동안 위치를 고정해야 하는 응용 분야에도 적합합니다.

선정된 주요 이유

• 고해상도 대략적 및 정밀 위치 결정
• 모터에서 발생하는 열이 최소화됨
• 뛰어난 정적 안정성
• 컴팩트한 통합
• 지속적인 고속 이동이 필요하지 않음