6.5N リニアアクチュエーター、非磁性、真空対応

Piezo LEGS® リニアモーターは、狭いスペースでの要件を伴うOEM用途向けに設計されており、通常環境、磁気環境、真空環境における精密な位置決めを重視しています。

Piezo LEGS® および LL10D

推力6.5N、非磁性、真空対応。

  • 真のリニアダイレクトドライブ
  • 真空対応バージョン
  • 非磁性バージョン
  • 通常バージョン
  • サブナノメートルレベルまでの解像度
  • 6.5 N推力
  • 0～74.5mmストローク
  • 自動ロック
  • バックラッシュなし

Piezo LEGS® LL10 リニアアクチュエーター

真のダイレクトリニア駆動

LL10リニアモーターは、完全非磁性や真空対応が求められる環境での精密位置決めを主眼に、幅広いOEM用途向けに設計されています。 Piezo LEGS®のダイレクトドライブ方式により、機械的な遊びやバックラッシュのない動作を保証します。非常にコンパクトかつ強力なこのモーターを使用すれば、サブミクロン単位の移動も容易です。より優れた分解能となめらかな直線運動が必要な場面において、従来のステッピングモーター・ユニットに代わる画期的なソリューションとなります。

真空対応

真空対応モデルでは、アウトガス（放出ガス）を最小限に抑えるためのコンポーネントを採用し、特別な処理を施しています。また、最大125°Cまでの温度でベーキング（脱ガス加熱）を行うことが可能です。

非磁性

モーターの核となるピエゾセラミック・アクチュエータは本質的に非磁性であり、モーターハウジングやその他の部品にも非磁性合金が使用されています。モーターハウジングから10mmの距離における磁束密度は1nT未満（基準測定におけるセンサー感度以下）です。

仕様 Piezo LEGS® LL10

種類ノーマル（A）非磁性 - 真空 (D)単位
最大ストローク74.5うーん
最高速度
ドライバーに依存		15mm/s
最低速度
運転者による		1μm
失速推力6.5N
保持推力>6.5N
真空いいえはい
非磁性いいえはい
動作電圧42-49V
消費電力5mW/Hz
外形寸法（幅×高さ×奥行き）
ガイドおよびエンコーダ付き		N/Aうーん
外形寸法（幅×高さ×奥行き）
ガイドおよびエンコーダを除く		22 x 19.3 x 10.8うーん
重量
50 mmの駆動ロッド付き		23グラム
モーターハウジングの材質ステンレス鋼アルキャップ
動作温度
推奨		-20～+70℃
コネクタモーターケーブルはJST 05SR-3Sで半田付け
コネクタエンコーダN/A
解像度モーター
<1nm
内蔵エンコーダいいえ
エンコーダ分解能N/Anm
データシート LL10 CADファイル（STEP） LL1011D (LL10)

Piezo LEGS® LL10 の寸法

モーター性能

Rhomb波形（実線）とDelta波形（点線）によるモーター特性。フルステップ長とは、脚が1フルステップ（すなわち波形1サイクル）したときのドライブロッドの平均移動距離。

注：0.5μmの標準偏差σを考慮する必要あり。代表的な値は20℃での値。

LEGS LL06 リニアピエゾモーターのモーター性能
LEGS LL10Dリニアピエゾモーターのモーター性能

ストローク範囲

1アダプタあたりのストローク(mm)
ドライブロッド長(mm)
0-3.4
30

0-13.4
40

0-23.4
50

0-33.4
60

0-43.4
40

0-74.5
101

20ºC でのモーター速度 (missing)

波形
最大周波数 (Hz)
速度範囲 (mm/s)
Rhomb
3000
0-15

Delta
3000
0-24
左側がコントローラーPMD401、右側がPMD301

モーターの制御

当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。

また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。

スターターキット

当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。

各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。

ピエゾモーター用スターターキット