直線および回転位置決め用精密ステージ
PiezoMotor は、要求の厳しい位置決め用途向けに、新たな精密ステージ製品群を提供しています。5つの連携したステージ・ファミリーは、Piezo LEGS® のダイレクトドライブ技術を搭載し、閉ループ方式による直線、垂直、ロータリー 、およびゴニオメトリックな位置決めを実現します。
X軸、XY、Z軸、ロータリー 、およびゴニオメトリックステージからお選びいただけます。この製品ラインナップは、移動距離、推力 、可搬重量、速度、分解能、および位置決め形状に関してさまざまな要件を持つアプリケーションに対応しています。
1つのポートフォリオ。5つのポジショニング・ファミリー。
X軸高精度ステージ
1ミクロン単位の精度が求められる用途向けに設計された高精度位置決め技術。
開口部付きXY精密ステージ
光学アクセス機能と2つの推力 オプションを備えた、統合型2軸位置決め機能。
Z軸精密ステージ
移動主導型または荷重主導型の用途向けの2種類の垂直位置決め機構。
ロータリー 精密ステージ
ギア伝動機構を用いない、ロータリー の微細な限定角度位置決め。
ゴニオメトリック精密ステージ
70.5mm または 95.5mm の仮想回転中心を軸とする、1秒角未満の傾き。
PMSD401～PMSD404 精密ステージ用コントローラ
個別のドライバや、エンコーダの統合に伴う手間、そして繰り返しの互換性テストを回避できます。PiezoMotor の精密ステージ専用に設計されたPMSD400シリーズは、1～4軸のリニアまたは角運動軸を制御するための、スケーラブルな単一プラットフォームを提供します。
お探しのものがなかなか見つかりませんか？
弊社のエンジニアが、お客様のプロジェクトをサポートいたします。
OEMのイノベーションを支える高精度ステージ
Piezo LEGS® ダイレクトドライブ技術
コンパクトな動作は、よりシンプルな機械構造から始まります。
Piezo LEGS® アクチュエータは、モーターと可動プラットフォームの間にギアやリードスクリューを介さずに、ステージを直接駆動します。従来の機械式伝動機構を排除することで、動作経路における部品点数を削減し、伝動バックラッシュを回避できます。
この技術は、精度、機械的安定性、および設置スペースの効率的な活用が極めて重要な、コンパクトなOEM機器に特に適しています。
指令位置に到達すると、Piezo LEGS® モーターは、モーターへの連続的な電力供給がなくても、その位置を機械的に保持し続けることができます。これにより、高感度な光学系、検出器、試料、および測定部品周辺での静止状態における発熱を抑制することができます。
ご用途に適したリニアステージの選び方がお悩みですか？当社の 高精度リニアステージの選び方ガイドをご覧ください。
Piezo LEGS® 精密ステージの用途
半導体製造装置
発熱を最小限に抑え、優れた定置安定性を備えた高解像度フォーカシング。
寸法検査および校正
測定の検証や機器の校正に最適な、信頼性が高く再現性のある動作。
光学調整
光学部品の精密な位置合わせのためのコンパクトな多軸位置決め装置。
重量物の精密な垂直位置決め
高い耐荷重性と安定した保持力を備えた、ナノメートル単位の垂直位置決め。
高度な顕微鏡技術
自動化された試料スキャンおよび対物レンズの位置決めのための、低プロファイルで再現性の高い動作。
高精度レーザー位置決め
試料や部品にレーザーエネルギーを照射するための、高精度な多軸位置決め。
