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データシート、3D CADファイル、取扱説明書をダウンロードできます。

データシート

リニアPiezo LEGS® およびモーター

• LL06
• LL10
  
• LT20Aノーマル
• LT20C 非磁性
• LT20D 真空と非真空-非磁性
  
• LT40Aノーマル
• LT40C 非磁性
• LT40D 真空・非磁性
• ステージマウント用LS15
• ステージマウント用LS40
  
• LTC40データシート
• LTC300データシート
• LTC450データシート

ロータリー

• LR17データシート
• LR23-50 データシート
• LR23-80 データシート

コントローラー

• PMD401 データシート
• PMD301データシート

3D CADファイル

• LL10 (LL1011D)
• LT2020A
• LT2020D
• LT4040C
• LT4040D
• LT4050A
• LT4050C
• LT4050D
• ステージマウント用LS15
• ステージマウント用LS40
• LTC30011-00004
• LTC45011-00002
• LR17-030A21E1A00
• L06A0_050M1G1E1
• L06A0_050M1G0E0
• L06A0_050M1G1E0
• PiezoMotor
• PiezoMotor
• PiezoMotor
• PiezoMotor
• PiezoMotor
• PiezoMotor
• PMD301コントローラ
• PMD401コントローラ

使用方法

• Piezo LEGS® 手順書
• PiezoLEGS® LT20、LL10、LL06の取付公差ガイドライン