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製品
- - リニアアクチュエータ
    Piezo LEGS® 高精度リニアアクチュエータ – サイズ、推力、および精度が求められる過酷な用途に最適です。強い磁場や真空環境向けのモデルもご用意しています。
    概要：リニアアクチュエータ
    6N、エンコーダとガイドを一体化したタイプ
    20N、真空対応、非磁性
    40N、真空対応、非磁性
    40N | 屋根付き |
    6.5N | 真空 | 非磁性 |
    300N | 真空 |
    450N | 真空 |
  - 特殊アクチュエータ
    特注リニアアクチュエータ – 当社のリニアアクチュエータの特別仕様モデルです。Piezo LEGS 技術に基づいて構築され、カスタマイズされたソリューションを実現します。
    概要その他のアクチュエータ
    ステージマウント用 15N
    ステージマウント用 40N
  - Piezo LEGS モーターの回転
    ロータリー Piezo LEGS® モーター – ロータリー常圧、真空、磁気環境向けの超高精度モーター。セルフロック式でバックラッシュなし。エンコーダ内蔵オプションもご用意しています。
    ロータリーソリューション
    ロータリー | 30mNm | エンコーダ |
    ロータリー | 50mNm | エンコーダ |
    ロータリー | 80mNm | エンコーダ |
  - 制御システムおよびソフトウェア
    ピエゾアクチュエータおよび精密ステージ用コントローラ – 高精度な動作を実現するには、適切なモーターを選ぶだけでは不十分です。コントローラは、アクチュエータ、フィードバックシステム、軸数、および想定される動作環境に適合している必要があります。
    コントローラの概要
    PMD301コントローラ
    PMD401コントローラ
    ステージ用コントローラー
  - ステージ
    高精度ステージ – X軸、XY、Z軸、ロータリー、およびゴニオメトリックステージからお選びいただけます。当社の製品ラインナップは、移動距離、推力、積載重量、速度、分解能、位置決め形状など、さまざまな要件を持つアプリケーションに対応しています。
    概要ステージ
    X軸高精度ステージ
    開口部付きXY精密ステージ
    Z軸精密ステージ
    ロータリー精密ステージ
    ゴニオメトリック精密ステージ
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