Piezo LEGS® 真空対応、非磁性リニアモーターおよびアクチュエーター

Piezo LEGS® リニアモーター／圧電アクチュエーターは、要求の厳しいOEMモーションソリューションに最適です

卓越したサイズ対推力比と真のリニアモーション

部品点数が少ないため、モーターやアクチュエーターの小型化が実現されます。直線運動を実現する上で、ギア、スピンドル、または機械式伝達機構は不要です。

真空対応、非磁性

非磁性合金製のモーターハウジングとセラミック製駆動ユニットを選択することで、10mmの距離における磁束密度が1nT（ナノテスラ）未満のアクチュエータを実現しています。これらは自ら磁界を発生させず、外部磁界の影響も受けません。そのため、MRI装置内や細胞レベルの研究用途においても、何ら問題なくご使用いただけます。

極めて高い精度 - ノンバックラッシュ、セルフロック

LEGS®ピエゾモーターは、必要に応じてサブナノメートルレベルまで簡単に位置決めすることができます。フリクションドライブにより、電力を消費することなくドライブロッドが所定の位置にロックされ、基本的にバックラッシュはありません。モーターは始動時も停止時も瞬時に反応します。最も一般的なピエゾモーターの概要については、こちらをご覧ください。

応答速度と高速ダイナミクスにより、迅速かつ精確な位置決めを実現

ピエゾアクチュエーターは、その卓越した応答時間と高速ダイナミクスで有名であり、迅速かつ正確な位置決めを必要とする用途に最適です。これらのアクチュエーターは、ナノメートルレベルの精密なモーションコントロールが 可能で、高速でも安定性を保つことができるため、顕微鏡、半導体製造、光学などの分野で不可欠なものとなっています。

速度とステップ長

アクチュエーターの移動速度は、ステップ長と駆動周波数に依存します。製品ページに記載されている最高速度は、通常環境および連続運転時のものです。断続的な条件下や特定のコントローラーを使用することで、速度を大幅に増大させることができます。詳しくは弊社までお問い合わせください。環境と積載量はステップ長に大きく影響します。

精密ガイドと統合エンコーダー

ほとんどのモデルは、内蔵エンコーダーおよび精密ガイドを備えています。

ピエゾアクチュエーターに関する10のよくある質問と、他のモーター技術との比較をご覧ください。