LEGS 15N リニアピエゾアクチュエーター（ステージマウント用）
LEGS 15N リニアピエゾアクチュエーター（ステージマウント用）：真空対応・非磁性
- リニアステージマウント用モーター
- ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
- ナノメートル分解能
- コンパクトで、卓越したサイズ対推力比
- 静止保持時の電力消費なし
- 迅速な応答と高速ダイナミクス
- 真空または非磁性真空
Piezo LEGS® LS15 ピエゾアクチュエーター
Piezo LEGS® LS15リニアモーターは、幅広いOEM用途を想定して設計されています。特に、ステージへの取り付けにおける統合のしやすさに重点を置いて設計されました。極めて高い動特性（スピード・ダイナミクス）とナノメートル単位の分解能を兼ね備えており、数多くの用途に最適です。
LEGSテクノロジーは、その卓越した精度を大きな特長としています。コンパクトなサイズ、素早い応答性、そして長い製品寿命もまた、この技術の利点です。これらにナノメートル単位の分解能が組み合わさることで、このテクノロジーは極めて独自の地位を築いています。
このモーターは「移動と保持」を繰り返す用途や、リニアステージユニットの自動調整に最適です。モーターが保持位置にあるときは電力を一切消費しません。駆動方式はダイレクトドライブであり、ギアやリードスクリューを必要としません。
直線運動が生み出されます。これは、モーターに機械的な遊びやバックラッシが全く存在しないことを意味します。Piezo LEGS® LS15リニアモーターは真空環境にも対応しています。
仕様 Piezo LEGS® LS15（暫定）
| 種類 | 真空 (B) | 非磁性 (D) | 単位 |
| 最大ストローク マウント依存性 | 130mm | うーん | |
| 最高速度 ドライバーに依存 | 12 | mm/s | |
| 最低速度 運転者による | 1 | nm/s | |
| ごくわずかな動き | <1 | nm | |
| 最大動作周波数 | 1.5 | kHz | |
| 失速推力 | 15 | N | |
| 保持推力 | >15 | N | |
| 真空 | はい | はい | 10-7 torr |
| 非磁性 | いいえ | はい | |
| 動作電圧 | 42-48 | V | |
| 消費電力 | 7 | mW/Hz | |
| 外形寸法（幅×高さ×奥行き） | 42 × 23.3 × 15 | うーん | |
| 重量 | 70 | グラム | |
| モーターハウジングの材質 | ステンレス鋼 | 非磁性 | |
| 動作温度 | -20～+70 | ℃ | |
| 保管温度 | -50～+85 | ℃ | |
Piezo LEGS® LS15の寸法
モーターの制御
当社のモーター・コントロール・ユニットには、OEM機器への組み込み用だけでなく、実験室用のコントローラーやアンプなど、さまざまなバージョンがあります。これらのコントローラーはコンパクトリニアアクチュエーターと互換性があり、最適な性能を発揮します。
また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。
スターターキット
当社のスターターキットは、評価を簡素化し開発を加速するよう設計されています。複数の構成で提供され、選択したモータープラットフォームのテストと統合を開始するために必要なすべてを提供します。
各キットには、モーターを評価するために必要な部品が含まれています。
