超スムーズ ゼロドリフト リニア超音波ステージ

安定した高精度のリニアステージ

センサペックス超音波ステージ

クローズドループ ピエゾモーションステージ

  • コンパクト
  • 20mmストローク
  • 高分解能 - 10 nm
  • 高保持力 10 N
  • ZERO DRIFT®
  • 自動ロック
  • バックラッシュなし
  • 統合制御エレクトロニクス

仕様 Acuvi SPS-40 リニアステージ-暫定版

パラメータ価値
最大ストローク20 mm
最高速度 – 無負荷時8 mm/s
最大速度(積載時)
最大動作周波数35 kHz
双方向の再現性100 nm
ごくわずかな動き10 nm
軸方向/垂直方向の耐荷重1.5-3 N
保持推力14 N
開ループ剛性1 N/µm
中心荷重容量10 N
真空いいえ
非磁性いいえ
動作電圧12 V
消費電力1.5W(アイドル時)/最大5W
ピッチ/ヨーX µrad
外形寸法(幅×高さ×奥行き)44x40x20 mm
重量 (ケーブルを除く)100 g
モーターハウジングの材質アルミニウム
ベアリングクロスローラー
動作温度(推奨0~+50°C
保管温度-40~+105℃
内蔵エンコーダはい
エンコーダ分解能2,4 nm
目次いいえ
リミットスイッチいいえ、機械式エンドストップ

Acuvi ピエゾ SPS-40 リニアステージ 製品説明

SPS-40シリーズは、エンコーダとコントローラを一体化した、コンパクトかつロープロファイルなピエゾリニアステージです。クローズドループによるピエゾ駆動と、電源OFF時の高い保持力を実現しており、当社が特許を保有する「ZERO DRIFT™(ゼロ・ドリフト)」テクノロジーを可能にしています。また、現在位置を見失う心配をすることなく、不要な電力消費を排除することができます。

超音波の駆動周波数を利用しているため、動作が非常に静かです。そのため、卓上機器や、人のすぐ近くで使用されるような用途に最適です。

電源OFF時でも高い保持力を発揮するため、現在位置を見失う心配をすることなく、不要な電力消費を排除できます。

XYまたはXYZステージ構成でスタックするオプション。

Ethernet通信とオープンソースのSDKにより、システム統合が容易に行えます(PythonおよびMATLAB用のラッパーも利用可能です)。

Senspexコントロールユニットとタッチスクリーン

モーターの制御

当社のモーター制御ユニットには、実験室用やOEM機器への組み込み用など、さまざまなタイプのコントローラやアンプを備えたモデルが多数用意されています。

また、独自のドライバー用電子機器を自社で開発したいお客様には、ドライバーのライセンス供与も可能です。