Piezo LEGS® 開口部付きXY精密ステージ
モーション、完成。
光学アクセス機能と2つの推力 オプションを備えた、統合型2軸位置決め機能。
16 × 16mm
X-Y方向の移動
6 N / 20 N
軸ごとの力
40 nm
エンコーダ分解能
安定した位置決めと再現性を実現するために設計された高精度ステージ
XYシリーズは、2つの閉ループ軸と、光学アクセス用の中央開口部を組み合わせたものです。どちらのモデルも、X軸 ±8mm およびY軸 ±8mm の動作範囲を備えており、お客様は軸ごとに6 Nまたは20 Nのストール推力 を選択できます。
主なメリット
- X ±8mm および Y ±8mm
- 軸あたり6 Nまたは20 Nのストール推力
- 軸あたりのエンコーダ分解能：40 nm
- 中央の光学開口部
- 耐荷重2kg
- 2軸PMSD402制御
小さな動き。大きな影響。
精度が性能を左右する場面では、あらゆる動きが重要になります。Piezo LEGS® テクノロジーは、従来の伝動機構のような複雑さを排除し、ダイレクトで制御された動きを実現します。
精度
高精度な位置決めを実現する40 nmの分解能。
安定性
モーターへの連続的な電力供給なしに、X-Y位置を維持する。
シンプルさ
中央に開口部を備えた一体型2軸プラットフォーム。
イノベーションを推進するために構築されました。
高度な光学技術から分析機器に至るまで、精密な駆動技術によって、より高性能なシステムが実現されます。
ALIGN
光学系、ウェーハ、およびセンサーをX軸およびY軸方向に位置合わせする。
職種
光学的な視認性を確保したまま試料を移動させる。
MAP
2つの軸に沿って、表面と検出器の応答をスキャンする。
保留
低い定温加熱状態で、選択したX-Y位置を維持します。
ひとつのステージ。あらゆる動きに精度を極める。
代表的な用途
- 顕微鏡観察と試料の位置決め
- ステージ貫通型アクセスによる光学イメージング
- ウェーハ、センサー、および検出器のアライメント
- 高精度マッピングおよび計測学
- レーザーおよびフォトニクスのアライメント
これにより可能になること
- ステージの開口部を通る光路が遮られないようにしながら、試料を配置してください。
- 再現性のある閉ループ動作により、2つの軸にわたる表面やセンサーの応答をマッピングします。
- 個別の単軸ステージを積み重ねることなく、光学部品やフォトニック部品をX軸およびY軸方向に位置合わせできます。
自分にぴったりのものを見つけましょう。
一般的な試験片、センサー、および光学部品の位置決めには、軸あたり6 Nを選択してください。ケーブルの張力、プロセス荷重、または動的要件により、追加の駆動余裕（推力 ）が必要な場合は、軸あたり20 Nを選択してください。開口部、ペイロードの重心、および作用するモーメントが、最終的な機械的配置と適合していることを確認してください。
技術仕様
|
モデル |
可動範囲 |
失速推力 |
読み込み |
最高速度 |
重量 |
|
LLS-XY-06-16-C-E40 |
X ±8mm; Y ±8mm |
軸あたり6 N |
2 kg |
5mm/s |
2.5 kg |
|
LLS-XY-20-16-C-E40 |
X ±8mm; Y ±8mm |
軸あたり20 N |
2 kg |
5mm/s |
2.5 kg |
共通プラットフォームの仕様
|
仕様 |
家族構成 |
|
エンコーダ分解能 |
40 nm（X/Y） |
|
位置決め再現性 |
±40 nm (X/Y) |
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本体素材 |
アルミニウム |
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おすすめのコントローラー |
PMSD402 |
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ステージケーブル |
CKS-20、2 m；同梱数量は確認待ち |
Piezo LEGS® 精密ステージの用途
半導体製造装置
発熱を最小限に抑え、優れた定置安定性を備えた高解像度フォーカシング。
寸法検査および校正
測定の検証や機器の校正に最適な、信頼性が高く再現性のある動作。
光学調整
光学部品の精密な位置合わせのためのコンパクトな多軸位置決め装置。
高度な顕微鏡技術
自動化された試料スキャンおよび対物レンズの位置決めのための、低プロファイルで再現性の高い動作。
高精度レーザー位置決め
試料や部品にレーザーエネルギーを照射するための、高精度な多軸位置決め。
アプリケーションの開発を次の段階へ進める準備はできていますか？
以下のフォームにご記入ください。お客様にぴったりのステージを見つけるお手伝いをいたします。