ピエゾモーターのタイプ比較

モータータイプ	運動原理	相対推力	力のないホールディング	速度	精度（分解能）	再現性（クローズドループ）	ピッチ/ヨーの安定性
慣性（スティック・スリップ）	摩擦に基づくスティック／スリップモーション	ロー・ミディアム	高い	ロー・ミディアム	~5 nm～50 nm	±20 nm ～ ±200 nm	中～不良（±25～100アークセック）
超音波ピエゾ	定在波共振運動	ミディアム	低い	高い	~1 nm～10 nm	±10 nm ～ ±50 nm	良好（±10～50アークセック、ガイドによる）
Piezo LEGS® 歩行）	連続ピエゾ駆動ステップ	高い	高い	ミディアム	<1 nm possible	±1 nm ～ ±10 nm	優れている（±1～10アーク秒、たわみあり）

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テクニカル・ノート

再現性

• モーターが繰り返し運動した後、同じ目標位置に戻る能力を定義する。
• 顕微鏡や半導体のアライメントなど、安定した予測可能な位置決めが必要なシステムには不可欠。
• 最適な性能は、高分解能エンコーダを利用したクローズドループフィードバックによって達成される。

精度（分解能）

• ステップ・サイズとドライブ・エレクトロニクスによる。
• 適切なフィードバックを備えたPiezo LEGS 超音波システムでは、サブナノメートル分解能が可能である。
• イナーシャモータは、スティック・スリップのダイナミクスにより、ステップが粗くなる。

ピッチ/ヨーの安定性

• 直線運動中の意図しない角度のずれ（横軸や縦軸周りの回転）を指す。
• 光学、スキャニング、サブミクロンのアライメントを含むアプリケーションで重要。
• フレクシャーガイド設計は最小限のピッチ/ヨー誤差を実現する——特にPiezo LEGS において。

性能に影響を与える設計要因

• メカニカルガイドフレクシャー＞リニアベアリング＞アンガイドシステム
• 負荷の対称性：軸外または不均等な負荷は角度誤差を増加させる
• ドライブ・エレクトロニクス：滑らかさ、応答性、ノイズに影響
• フィードバックシステム：静電容量式または干渉式エンコーダによる最適制御