Piezo LEGS® X軸高精度ステージ
モーション、完成。
1ミクロン単位の精度が求められる用途向けに設計された高精度位置決め技術。
8 / 16 / 25mm
旅行の選択肢
6 N / 20 N
ストール - 「推力 」クラス
40 nm
エンコーダ分解能
安定した位置決めと再現性を実現するために設計された高精度ステージ
X-axisシリーズは、3つの移動距離クラスにわたって、閉ループ方式の単軸モーションを実現します。全5モデルとも、40 nmのエンコーダ分解能、±40 nmの繰り返し精度、およびダイレクトドライブ方式によるPiezo LEGS® の保持力を兼ね備えています。お客様はまず移動距離を選択し、その後、利用可能な6 Nまたは20 Nの推力 クラスを選択します。
主なメリット
- 全行程：8、16、または25mm
- 6 N または 20 N ストール -推力 クラス
- 40 nmのエンコーダ分解能
- ±40 nmの再現性
- 最大積載量 3 kg
- モーターへの継続的な電力供給がなくても安定した保持が可能
小さな動き。大きな影響。
精度が性能を左右する場面では、あらゆる動きが重要になります。Piezo LEGS® テクノロジーは、従来の伝動機構のような複雑さを排除し、ダイレクトで制御された動きを実現します。
精度
高精度な位置決めを実現する40 nmの分解能。
安定性
モーターからの連続的な動力供給がなくても、その位置を維持する。
シンプルさ
機械部品を少なくしたダイレクトドライブ方式。
イノベーションを推進するために構築されました。
高度な光学技術から分析機器に至るまで、精密な動作によってシステムの性能が向上します。
ALIGN
Ootics、レーザー、センサーを安心してご利用ください。
職種
レンズ、検出器、ファイバー、および試料を、まさに必要な場所に配置します。
SCAN
画像撮影、検査、測定のために、スムーズかつ繰り返し行えます
保留
安定性を保ちながら、消費電力を最小限に抑えて位置を維持する。
ひとつのステージ。あらゆる動きに精度を極める。
自分にぴったりのものを見つけましょう。
旅行
8 / 16 / 25mm
失速推力
6 N / 20 N
読み込み
最大2 kg
決議
40 nm
速度
最大5mm/s
技術仕様
|
モデル |
可動範囲 |
失速推力 |
読み込み |
最高速度 |
重量 |
|
LLS-X-06-8-C-E40 |
±4mm （計8mm ） |
6 N |
1 kg |
5mm/s |
250 g |
|
LLS-X-06-16-C-E40 |
±8mm （計16mm ） |
6 N |
2 kg |
5mm/s |
650 g |
|
LLS-X-20-16-C-E40 |
±8mm （計16mm ） |
20 N |
2 kg |
5mm/s |
650 g |
|
LLS-X-06-25-C-E40 |
±12.5mm （計25mm ） |
6 N |
3 kg |
5mm/s |
1.0 kg |
|
LLS-X-20-25-C-E40 |
±12.5mm （計25mm ） |
20 N |
3 kg |
5mm/s |
1.0 kg |
共通プラットフォームの仕様
|
仕様 |
家族構成 |
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エンコーダ分解能 |
40 nm |
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位置決め再現性 |
±40 nm |
|
本体素材 |
アルミニウム |
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おすすめのコントローラー |
PMSD401 |
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ステージケーブル |
CKS-20、2 m；同梱数量は確認待ち |
Piezo LEGS® 精密ステージの用途
半導体製造装置
発熱を最小限に抑え、優れた定置安定性を備えた高解像度フォーカシング。
寸法検査および校正
測定の検証や機器の校正に最適な、信頼性が高く再現性のある動作。
光学調整
光学部品の精密な位置合わせのためのコンパクトな多軸位置決め装置。
高精度レーザー位置決め
試料や部品にレーザーエネルギーを照射するための、高精度な多軸位置決め。
アプリケーションの開発を次の段階へ進める準備はできていますか？
以下のフォームにご記入ください。お客様にぴったりのステージを見つけるお手伝いをいたします。