20N非磁性真空対応高精度リニアアクチュエーター

Piezo LEGS® LT20 リニアピエゾアクチュエーターは、磁気環境、真空環境、または常温常圧（NTP）環境における精密位置決めを主目的としたOEM用途向けに設計されています。

卓越したサイズ対推力比とナノメートル級の精度を備えたリニアアクチュエーター。

20 N推力
非磁性
真空対応
ナノメートル級の精度
ダイレクトドライブ - バックラッシュフリー
静止保持時の電力消費なし
素早いレスポンスと高速ダイナミクス

Piezo LEGS® LT20 リニアアクチュエーター

LT20 リニアモーターは、幅広い OEM アプリケーションを対象としています。設計の焦点は、組み込みのしやすさにあります。非常に高速なダイナミクスとナノメートルの分解能により、多くの用途に最適です。

このモーターは、移動と保持のアプリケーションや自動調整に最適です。ホールドポジションでは電力を消費しません。駆動テクノロジーはダイレクトで、リニアモーションを生み出すためにギアやリードスクリューは必要ありません。モータには機械的な遊びやバックラッシュがありません。LT20 リニアモータには、標準バージョン、真空バージョン、および非磁性真空バージョンがあります。

半導体製造装置において、ウエハーの切断・研磨、リソグラフィ、イオン注入、ウエハー検査・計測に最適です。
Piezo LEGS® LT20 は医療技術産業において、投薬システム、手術器具、医療ロボット、診断・画像診断装置、医療材料ハンドリングなどの分野で使用されています。

仕様 Piezo LEGS® LT20

種類	ノーマル（A）	非磁性（C）	非磁性真空（D）
最大ストローク	74.5mm
速度範囲（菱形波形、無負荷、20℃）	1 nm/s – 20mm/s（ドライバを確認してください）
ステップ長、フルステップ @ デルタ、無負荷、20℃	3.3 µm
最高速度（ドライバーおよび波形に依存）	20mm/s
最大動作周波数（ドライバに依存）	2.5 kHz
運動分解能	<1 N
失速推力	20 N
保持推力	>20 N
真空	いいえ		はい（^{10～7トール}）
非磁性	いいえ	はい
最大動作電圧	48 V
消費電力	10 mW/Hz
外形寸法（幅×高さ×奥行き）	22 × 21.8 × 10.8mm
50mm ロッドを装着した状態の重量	29 g
モーターハウジングの材質	ステンレス鋼	Arcap（非磁性）
動作温度（推奨）	-20～+70°C
保管温度	-20～+70°C
内蔵エンコーダ	いいえ
コネクタモーター（モーター側）	2 x JST BM05B-SRSS-TB		はんだ付け済みケーブル（JST 05SR-3S × 2）
制御	オープンループまたはクローズドループ
耐用年数（km）	2.5 ×^{10⁹ WFM-S*}
目次	N/A
最大加速度	800Hz/ms