重量物の精密な垂直位置決め

高い耐荷重性と安定した保持力を備えた、ナノメートル単位の垂直位置決め。

PiezoMotor Z軸ステージは、数キログラムの荷重を精密に垂直方向に移動させる必要がある用途向けに設計されています。

ウェッジ型の水平Zステージは、アクチュエータによる高い推力 と、エンコーダ制御による微細な位置決めを兼ね備えています。指令位置に到達した後、ダイレクトドライブ機構は、モーターに継続的に電力を供給することなく荷重を維持することができます。これは、測定、加工、または検査のサイクルが長時間続き、その間荷重を静止状態に保つ必要がある場合に特に有益です。

選定の主な理由

• 高い垂直荷重容量
• 数十ナノメートルオーダーの位置決め分解能
• コンパクトなウェッジ型構造
• モーターへの継続的な電力供給がなくても安定した保持が可能
• 停止時の発熱量が少ない