40N真空対応非磁性リニアアクチュエーター

Piezo LEGS® LT40リニアピエゾアクチュエーターは、磁気環境、真空環境、または常温常圧（NTP）環境において、高荷重の昇降（ヘビーリフティング）と精密な位置決めを主眼とするOEM用途向けに設計されています。

40N 高精度リニアアクチュエーター。真空対応、非磁性バージョンあり — Acuvi Piezo LEGS リニア 40N ピエゾモーター

ヘビーリフター 40N推力。サブナノメートル分解能。

真空対応
非磁性
サブナノメートルレベルまでの解像度
40 N推力
自動ロック
バックラッシュなし

真のダイレクトリニア駆動

採用された駆動技術はダイレクト方式であり、直線運動を生成するために歯車やリードスクリューを必要としません。モーターはマイクロステッピングにより動作し、完全な波形ステップをサブナノメートル単位の増分に分割します。速度範囲はナノメートル毎秒からミリメートル毎秒まで及び、ダイナミックレンジ全域に渡ってシームレスに制御可能です。さらに、コンパクトなボディに関わらず高出力であり、失速推力４０N を重量わずか61グラムで実現しています。
バックラッシュがなく、保持時に電力を消費しません。
3つのバージョンが用意されています：一般環境向け標準ステンレス鋼（A）、非磁性バージョン（C）、非磁性真空バージョン（D）。
各バージョンはM1またはM2マウントで提供されます。

半導体製造装置において、ウエハーの切断・研磨、リソグラフィー、イオン注入、ウエハー検査・計測に最適です。
Piezo LEGS® LT40は医療技術産業において、投薬システム、手術器具、医療用ロボット、診断・画像装置、医療材料ハンドリングなどの分野で使用されています。

仕様 Piezo LEGS® LT40

種類	ノーマル（A）	非磁性（C）	非磁性真空（D）
最大ストローク	67mm
速度範囲（菱形波形、無負荷、20℃）	1 nm/s – 12mm/s（ドライバを確認してください）
ステップ長、フルステップ @ デルタ、無負荷、20℃	5 µm
最高速度（ドライバーおよび波形に依存）	12mm/s
最大動作周波数（ドライバに依存）	1.5 kHz
運動分解能	<1 N
失速推力	40 N
保持推力	>40 N
真空	いいえ		はい（^{10～7トール}）
非磁性	いいえ	はい
最大動作電圧	48 V
消費電力	20 mW/Hz
外形寸法（幅×高さ×奥行き）	32.1 x 24.2 x 23.1
50mm ロッドを装着した状態の重量	61 g
モーターハウジングの材質	ステンレス鋼	Arcap（非磁性）
動作温度（推奨）	-20～+70°C
保管温度	-20～+70°C
内蔵エンコーダ	いいえ
コネクタモーター（モーター側）	2 x JST BM05B-SRSS-TB		はんだ付け済みケーブル（JST 05SR-3S × 2）
制御	オープンループまたはクローズドループ
耐用年数（km）	2.5 ×^{10⁹ WFM-S*}
目次	N/A
最大加速度	800Hz/ms