半導体業界における「高精度」への世界的な取り組み

半導体製造における物理的限界の克服

半導体構造がますます複雑化し、プロセスの公差が厳しくなるにつれ、製造装置には、より高精度で安定かつ信頼性の高い動作が求められています。サブナノメートル単位の位置決め、真空環境下での動作、熱的安定性、および磁気に敏感な環境下での非磁性動作といった要件に対し、従来のモーション技術では対応が困難な場合があります。

こうした技術的課題に取り組むには、半導体のバリューチェーン全体にわたる緊密な連携が必要です。技術や部品の供給業者から、装置メーカー、研究機関、半導体メーカーに至るまで、幅広い関係者の協力が求められます。

この45分間の技術ウェビナーでは、 PiezoMotorNearfield Instrumentsをはじめ、ウプサラ大学の研究者、Business Swedenの市場アナリストなど、業界各分野の専門家が一堂に会します。

本セッションは、従来の製品プレゼンテーションではなく、オープンな技術討論の場として企画されています。講演者たちは、半導体製造装置においてますます厳しくなる動作要件について検証し、システム統合における一般的な課題について議論するとともに、現代の半導体製造環境における圧電駆動技術の科学的背景について探求します。

議題と注目スピーカー

1. 半導体市場の現状 (15分)
講演者：Feng-I Tai（半導体プログラム・リード） |Business Sweden
焦点： 現在の市場動向、サプライチェーンの変化、および半導体製造装置に極限の精度を求める経済的要因について考察します 。

2. 極限の精度での運動（15分）
講演者：ステファン・ヨハンソン教授（マイクロシステム技術学教授） |ウプサラ大学
焦点： 従来のモーターがナノスケールで限界に直面する理由に関する学術的視点、および圧電歩行技術の基礎となる物理学。

3. 産業界の視点：（15分）
講演者：ウィリアム・スタッセン（戦略サプライチェーン・マネージャー）およびマーク・スピアーズ・システム（エンジニア） |Nearfield Instruments
焦点： Nearfield Instruments社が、半導体製造における重要なプロセス制御要件に対応し、複雑なナノ構造の高スループット・高精度化をどのように推進しているかについて、内部の視点から解説します 。

4. モーションシステムとの統合（5分）：
講演者：マーカス・ヘデンスコグ（APAC地域ディレクター） | PiezoMotor （Acuvi の一部）
テーマ：エンジニアが、コンパクトで高精度、かつ真空対応の圧電式モーションソリューションを、非磁性動作を必要とするアプリケーションを含む複雑な半導体装置にどのように統合できるかについて議論します。

司会者および聴衆による質疑応答

登壇者：マンネ・ジョウェイニ（CCO） | PiezoMotor （Acuvi の一員）
主な役割：サプライチェーン横断的なイノベーションに関するパネルディスカッションの進行および、双方向型の質疑応答セッションの司会を務めます。

同一内容のセッションを2回開催いたします。ご都合のよい時間帯をお選びください。